“本次采用雙伺服電機提升裝備爐門，突破傳統立式真空裝備‘單伺服電機+軟軸’驅動連接方式，將成卷的石墨軟氈卷料展開快速純化，大大提高純化效果。”電科裝備山西中電科公司技術專家表示，這意味著自主研制的國內首臺套石墨軟氈連續式高溫純化裝備誕生了。

近4年來，山西中電科公司圍繞第三代半導體用高純碳基材料、鋰電碳納米管材料等方面，持續開展關鍵裝備研發制造及工藝技術攻關，高溫純化裝備市場占有率超過50%，成功入選第五批國家級“專精特新”小巨人企業。

深耕核心技術，練就“獨門秘訣”

隨著硅基半導體和第三代半導體的快速發展，市場對高純石墨相關材料需求大幅增加。太陽能、半導體、人工晶體、光纖、高端真空燒結爐、熱處理爐、高頻感應爐等領域，對石墨軟氈提出更高要求。不僅是數量的增加，更是質量的提高。

“現有石墨軟氈純化裝備生產效率低，純度低、熱輻射造成大量能源損耗等現象一直是行業技術難題，純化效率和純化質量是石墨軟氈純化裝備最核心的技術指標。”技術專家表示。科研團隊反復鉆研攻關，最終研制出國內首臺套石墨軟氈連續式高溫純化裝備，使石墨軟氈達到純化指標的要求，打通“堵點”，保證了純化效率和純化質量。

該裝備的投產，助推國內高溫純化裝備與工藝進一步飛躍，有效解決石墨軟氈高溫純化裝備領域關鍵核心問題，具有廣闊的市場前景。

立足行業所趨，推出純化裝備譜系產品

為適應半導體產業的快速發展，山西中電科公司持續開展技術攻關，推出純化裝備譜系產品，立式高溫純化裝備、臥式高溫純化裝備、立式石墨化裝備、臥式石墨化裝備、高效沉積裝備等，產品技術及質量均達到領先水平，已廣泛應用于半導體、太陽能等多個行業。

技術領先、產品過硬，為山西中電科公司“敲”開廣闊市場。作為山西省第三代半導體重點產業鏈鏈核企業，公司深度支撐“國家第三代半導體技術創新中心（山西）”建設，逐步實現單體裝備向連續式、高效高溫純化工藝裝備迭代發展，研發低硼、低鋁的新型純化裝備，與當前高溫純化技術疊加，更好的滿足第三代半導體高純石墨材料的使用需求。

面向未來，山西中電科公司將依托碳基材料制備技術持續深耕，著力提升石墨材料的高溫純化工藝水平，加速推出更多新型高溫純化系列裝備，不斷壯大產品譜系，為推動我國高溫純化裝備自立自強貢獻積極力量。