肩負使命 接續奮斗作為制造業皇冠上的明珠，半導體產業一直是信息技術產業的核心，也是智能制造的信息標。

21世紀以來，第三代半導體材料和器件開始初露頭角，光電子、射頻電子、功率電子等器件在諸多國家重大需求中具備廣泛的應用前景，如5G基站、新能源汽車、軌道交通、智能電網和光電顯示等。

技術每次升級迭代，都意味著新的產業機遇即將到來。全國青聯委員、國家第三代半導體技術創新中心（簡稱“國創中心”）主任張魯川就是新一輪產業發展中的一位先鋒。

國家技術創新中心，是國家戰略科技創新體系的重要組成部分，擔負著突破我國相關領域關鍵技術瓶頸，保障國防安全和產業鏈安全的重要使命。

“國家第三代半導體技術創新中心的成立，是科學技術部面向重大、基礎產業經濟領域，踐行新型舉國體制，實施創新驅動發展的一項重要舉措。”在科技攻關、攻克前沿技術工作的最前沿，張魯川作為青年科技創新人才，孜孜不倦；擔任團隊領頭人，團結、凝聚、引領一批青年科技人才成長成才，“面向世界科技前沿和國家重大戰略需求，積極履行高水平科技自立自強的使命擔當，攻克第三代半導體領域關鍵技術，打通技術鏈條的堵點，發揮了第三代半導體對于國防安全和產業鏈安全的關鍵支撐作用。”

“很幸運能夠見證并參與半導體事業的發展”

“不知不覺，從事半導體行業已經20年了。”在位于北京市石景山國創中心的辦公室里，張魯川與記者談起他所從事的半導體事業，言語間透露出濃厚的家國情懷。“作為一名青年科技工作者，我對國家在半導體領域取得的進步感到由衷的自豪，能見證并參與中國半導體事業蓬勃發展，挺幸運的。”

1980年，張魯川出生在四川，父親是一名軍人。兩歲那年，母親帶著他隨軍，在軍營中生活了四年。“可能由于父親是軍人吧，從小我就對各種國防裝備感興趣。小時候，父親送給我一架軍用飛機模型，外形非常威武，它的樣子到現在我都記得。”回首童年往事，張魯川微微笑著。

高中時期，一次偶然的機會，張魯川作為學生代表參加了與北京航空航天大學老師的交流活動。“老師深入淺出地向我們講述了航空航天方面的知識，以及國家未來的展望。”張魯川感到熱血沸騰。“那天，我才知道電子信息系統在各種航空航天裝備上發揮著重要作用，而電子信息系統的基礎就是微電子技術。”考大學時，張魯川毫不猶豫地選擇了微電子專業。

畢業后，張魯川如愿進入中國電科55所工作。這是一家是以固態器件、微系統、光電顯示與探測器件為主業的綜合性研究所，經過半個多世紀的精耕細作，在一、二、三代半導體領域建立了自主發展體系。也是在這里，張魯川踏上了半導體領域的科研道路。

張魯川參與的第一個重大項目，是某重點裝備所需的高性能單片放大器。“項目一開始就面臨諸多難題，一些關鍵性能指標經過多輪測試總是達不到應用要求，但我們的技術團隊咬緊牙關，開啟‘愚公移山’模式，一個技術點一個技術點地攻關，有時為了一個工藝優化方案討論到半夜，最終圓滿完成了研發任務。”

令張魯川印象深刻的，還有某波段功率管項目。他全程參與了項目論證、立項、攻關和成果驗收。除了科研任務，他還要負責整個團隊的組織協調、進度管控，“過程充滿艱辛，但收獲令人滿意。”

在55所，從基層科研人員到常務副所長，張魯川先后參與了技術研發、項目管理、市場營銷、戰略規劃、產業發展和資本運作等一系列工作，為55所的發展和行業技術的進步作出了突出貢獻。

在55所多年的工作經歷，磨煉出張魯川出色的專業技術和管理能力，為他擔任國創中心主任一職奠定了堅實基礎。

“大力弘揚攻堅克難精神，勇攀科技高峰”

2021年，科技部支持中國電科集團牽頭，聯合多地省市共同建設國家第三代半導體技術創新中心。國創中心堅持瞄準國家和產業發展全局的創新需求，系統開展攻關。聚焦第三代半導體關鍵核心技術和重大應用方向，梳理出創新鏈的難點和堵點，加大攻關力度，實現在電力電子、微波射頻和光電子領域的應用突破。

作為國創中心主任，從科研人員成長為國家第三代半導體技術創新中心掌門人，張魯川深感責任重大，使命光榮。他介紹，第一代、第二代、第三代半導體材料，基于各自的特性和優勢，分別應用于不同領域，共同構成半導體領域材料“家族”，共同組成電子技術產品的核心，是信息產業發展的基石。

其中，第三代半導體材料具備高頻、高效、耐高壓、耐高溫、抗輻射能力強等優越性能，基于這種材料研制的元器件是支撐國防軍工、下一代移動通信、新能源汽車、高速列車、能源互聯網等領域的關鍵，對國防安全、“數字經濟”和“雙碳”具有重大戰略意義。

時不我待，重任在肩。半導體行業的競爭日趨激烈，張魯川經常提醒自己不能有絲毫懈怠，必須把握機遇窗口，引領團隊乘勢而上。

“國創中心匯聚多位院士、知名專家領銜的創新團隊，總人數已超600人。攻關團隊中，35歲以下青年科技人才占比83%，已經成長為推動第三代半導體領域科技自立自強的先鋒隊、突擊隊和主力軍。”張魯川說，近年來，國創中心通過組建黨員攻關團隊、青年突擊隊，激發廣大青年科技人才的奮斗熱情，取得了一系列技術成果。

離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備，也是國創中心在裝備領域的攻關重點。“離子注入機具有專業性強、涉及學科多、精密化程度高等特點，研制難度極高。”

2.5萬個硬件7×24小時密切配合，軟件系統高速運轉，要讓束流時刻保持在特定的高能量，精準注入到硅片的指定區域，不能有一絲卡頓……這只是高能離子注入機工程化的“基礎套餐”。要實現這些極端嚴苛要求，需要一個關卡接一個關卡地闖，其中就包括將高能量束流均一性指標提高0.5%。

“0.5%的小小改變，就需要項目團隊不眠不休地與影響均一性的5項關鍵指標‘死磕’，修改5000多次程序。”每次從實驗室出來，技術人員在無塵服的包裹下都汗流浹背，來不及擦拭，就又奔向辦公室，總結實驗數據。項目組接連突破高能離子加速技術等核心技術難關，各項工藝指標均達要求。目前，產品已進入產線工藝驗證的最后階段。

在碳化硅材料研制車間，白色的長晶爐整齊地列成一排，隔著厚厚的玻璃望去，所見之處都是認真工作的青年研究人員，他們或埋頭計算數據，或傾身站在設備前聚精會神地觀察……“碳化硅單晶的制備是材料和器件的基礎，而高穩定的晶體生長工藝則是其中最核心的一環。”張魯川表示，經過研發人員反復鉆研攻關，最終完全掌握這項關鍵技術，并實現高純碳化硅單晶的商業化量產。

“國家急迫需要和長遠需求，始終是我們的研發方向。”張魯川說，當今世界，百年變局加速演進，半導體行業的戰略競爭日趨激烈，技術的壁壘和限制比比皆是，難度不言而喻。“青年人在科技攻關中必須大力弘揚攻堅克難精神，銳意進取，勇攀科技高峰。”

近年來，國創中心成功研制出國內首款8英寸SiC單晶襯底；國內首臺自主研制的0.35微米光刻機、SiC高溫離子注入機等工藝裝備進入試用驗證；國產SiC電力電子器件完成全譜系的研發，成功應用于超200萬輛新能源汽車；突破6500V SiC高壓電力電子器件核心技術，在超高壓柔性變電系統中開展了示范應用；GaN射頻電子器件突破了高線性、高效率等關鍵技術。

“讓青年科技人才在國家重大科技任務中挑大梁、當主角”

青年科技人才是科技創新的生力軍，科技強國建設離不開一個個科技尖兵。

習近平總書記高度重視青年科技人才隊伍建設,多次提到青年科技人才在科技創新和科研攻關中的重要地位，并于今年5月12日調研中國電科相關成員單位時，指出要“瞄準國家戰略需求，系統布局關鍵創新資源，發揮產學研深度融合優勢，不斷在關鍵核心技術上取得新突破”，親切勉勵青年科技工作者“再接再厲、勇攀科技高峰，不斷攻克前沿技術，打造更多科技自立自強的大國重器”。

作為全國青聯委員、青年科技工作者，以及國家第三代半導體技術創新領頭人，如何團結引領青年科技人才在推動科技自立自強的道路上開拓創新、持續奮進，是張魯川一直在思考和實踐的問題。

“政治工作是一切工作的生命線。”張魯川說，國創中心始終牢牢把握科技工作的政治方向，引領科技工作者聽黨話跟黨走，注重組織青年科技人才加強學習，時刻同黨中央保持高度一致，洞悉國際形勢和我國所處的歷史方位，激發出勇挑重擔的歷史責任感和使命感。

在張魯川看來，“引導支持青年科技人才服務高質量發展，就要支持他們在國家重大科技任務中挑大梁、當主角，充分給予青年人才更多的信任、更好的幫助、更有力的支持。”張魯川說，“通過攻克一個個難題，完成一個個任務，青年的能力提升了，自信心上來了，才能幫助他們快速成長成才。”

張魯川積極為青年科技人才開拓創新、刻苦攻關搭建施展拳腳的平臺。他認為，大部分的研發創新工作背后都有嚴密的邏輯規則。“打一個比喻吧，芯片作為一個器件而言，有輸入和輸出，內部有工作規則。我們的研發創新工作也是一樣，我們期望的是優質的輸出，也就是創新工作帶來的成效。我們要控制的是輸入。因此，只要搭建和不斷完善平臺，優化內部運轉機制，再加上符合客觀規律的投入，必然能獲得令人滿意的輸出。”

兩年來，立足國創中心的平臺，張魯川團結帶領青年科技骨干們繼承和發揚先輩們自力更生、艱苦奮斗的精神，展現出青春的朝氣和銳氣，先后承擔了87項重大任務，突破了130項關鍵技術，其中多個攻關項目榮獲國家科技進步獎、國防科技進步獎、全國創新爭先獎牌、全國青年文明號等榮譽。

“路雖遠，行則將至；事雖難，做則必成。”如今，半導體事業與國家一起邁向高質量發展的新征程。張魯川說：“今后，我將與國創中心青年科技人才團隊，與全國行業同仁一道，繼續投身科技創新事業，把握時代機遇，乘勢而上，不辜負總書記和黨中央重托，不辜負人民期望，早日實現核心芯片領域高水平科技自立自強，奮力書寫屬于新時代中國青年的壯麗篇章。”

作者：《中華兒女》記者 張惠清