捷佳偉創官微消息，近日，捷佳偉創子公司常州捷佳創精密機械有限公司國內首臺完全自主研發的電子級硅芯清洗設備成功下線，即將交付客戶。
據悉，該設備是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蝕清洗設備，用于清洗硅芯表面有機物、氧化物和金屬離子，采用堿洗、酸洗、超聲、機能水等工藝，產品可用于高純光伏硅片和半導體硅片的生產制程，清洗后總表金屬≤0.2ppbm。
捷佳偉創表示，公司已成為國內唯一一家達到電子級標準的硅芯硅料清洗設備研發生產廠商，目前公司已實現表金屬0.5ppbw以上等級的電子級硅料批量出貨，2024第一季度將推出0.1ppbw以下的產品。
