8月10日，賽微電子發(fā)布關于控股子公司MEMS微振鏡通過驗證并啟動試產的公告。

據(jù)披露，2023年8月9日，因賽微電子控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技（北京）有限公司（簡稱“賽萊克斯北京”或“北京FAB3”）代工制造的某款MEMS（即微電子機械系統(tǒng)，簡稱為微機電系統(tǒng)）微振鏡通過了客戶驗證，賽萊克斯北京收到該客戶發(fā)出的采購訂單，啟動首批MEMS微振鏡8英寸晶圓的小批量試生產。

MEMS微振鏡（也稱“微鏡”、“掃描鏡”）是指采用光學MEMS技術制造的，把微光反射鏡與MEMS驅動器和傳感器集成在一起的光學MEMS器件。近年來，隨著智能化、電動化、網(wǎng)聯(lián)化的加速發(fā)展，汽車傳感器市場持續(xù)擴大，基于半導體制造工藝生產的先進傳感器正在擴大應用。MEMS微振鏡是激光光束操縱的核心元器件，通過半導體制造工藝進行集成化生產，能夠實現(xiàn)激光雷達、激光顯示的小型化、低成本、高精度，助力推進MEMS微振鏡在車載和AR/VR等領域的應用。

近年來，賽萊克斯北京持續(xù)加大研發(fā)投入，自主積累基礎工藝，積極探索各類MEMS器件的生產訣竅，努力為全球通信、生物醫(yī)療、工業(yè)汽車、消費電子等各領域客戶，尤其是中國本土客戶提供優(yōu)質的MEMS工藝開發(fā)及晶圓制造服務，積極推動公司在本土形成和提升自主可控的MEMS生產制造能力，加速國產替代。

不過，賽微電子指出，盡管已在多領域實現(xiàn)MEMS制造技術的積累和突破，但公司北京FAB3在整體上仍處于運營初期，產線的產能爬坡、良率提升是一個持續(xù)的過程，產能擴充及產量目標的實現(xiàn)尚需一定時間。

（來源：集微）