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電子級硅烷項目簽約落地山東泰安 總投資15億元

日期:2023-05-25 閱讀:274
核心提示:據新泰廣電官微消息,5月21日,電子級硅烷項目簽約儀式在泰安市東岳山莊舉行。據了解,電子級硅烷項目位于新泰市樓德鎮,總投資1

據新泰廣電官微消息,5月21日,電子級硅烷項目簽約儀式在泰安市東岳山莊舉行。據了解,電子級硅烷項目位于新泰市樓德鎮,總投資15億元,規劃建設年產5000噸硅烷、50噸乙硅烷及1000噸二氯氫硅、10萬噸三氯氫硅的生產裝置及配套質檢、公用工程、車間、倉庫、公司辦公樓等設備設施,建設氟硅高端材料項目及相關設施,項目全部建成達產后預計可實現年產值30億元。

電子級乙硅烷主要應用于非晶硅生長、外延生長、化學氣相沉積、擴散、離子注入等工藝中,廣泛應用在半導體、集成電路、太陽能電池等領域。

 

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