據新泰廣電官微消息,5月21日,電子級硅烷項目簽約儀式在泰安市東岳山莊舉行。據了解,電子級硅烷項目位于新泰市樓德鎮,總投資15億元,規劃建設年產5000噸硅烷、50噸乙硅烷及1000噸二氯氫硅、10萬噸三氯氫硅的生產裝置及配套質檢、公用工程、車間、倉庫、公司辦公樓等設備設施,建設氟硅高端材料項目及相關設施,項目全部建成達產后預計可實現年產值30億元。
電子級乙硅烷主要應用于非晶硅生長、外延生長、化學氣相沉積、擴散、離子注入等工藝中,廣泛應用在半導體、集成電路、太陽能電池等領域。
據新泰廣電官微消息,5月21日,電子級硅烷項目簽約儀式在泰安市東岳山莊舉行。據了解,電子級硅烷項目位于新泰市樓德鎮,總投資15億元,規劃建設年產5000噸硅烷、50噸乙硅烷及1000噸二氯氫硅、10萬噸三氯氫硅的生產裝置及配套質檢、公用工程、車間、倉庫、公司辦公樓等設備設施,建設氟硅高端材料項目及相關設施,項目全部建成達產后預計可實現年產值30億元。
電子級乙硅烷主要應用于非晶硅生長、外延生長、化學氣相沉積、擴散、離子注入等工藝中,廣泛應用在半導體、集成電路、太陽能電池等領域。