半導體產業網訊:近日,中國電科55所牽頭研發的“高性能高可靠碳化硅 MOSFET技術及應用”成功通過技術鑒定。鑒定委員會認為,該項目技術難度大,創新性顯著,總體技術達到國際先進水平。
該項目聚焦新能源汽車、光伏儲能、智能電網等領域對高性能高可靠碳化硅 MOSFET器件自主創新的迫切需求,突破多項關鍵工藝技術,貫通碳化硅襯底、外延、芯片、模塊全產業鏈量產平臺,國內率先研制出750V/150A和6500V/25A的大電流碳化硅 MOSFET器件,實現新能源汽車、光伏、智能電網等領域碳化硅MOSFET批量供貨,有力保障碳化硅功率器件供應鏈安全,支撐產業鏈向高端躍升。
下一步,國基南方、55所將面向國家重大戰略需求,聚焦汽車芯片等領域,繼續完善產品譜系、拓展產品類型,全力提升碳化硅產能,進一步推進新能源汽車用碳化硅 MOSFET芯片和功率模塊關鍵核心技術攻關及產業化應用,為實現“碳達峰、碳中和”作出新的更大貢獻。
值得關注的是,在今年的4月17日,中國電科55所與一汽聯合推動碳化硅功率器件及模組科技創新,研發的首款750V碳化硅功率芯片完成樣品流片,首款全國產1200V塑封2in1碳化硅功率模塊完成A樣件試制。
在750V碳化硅功率芯片項目中,雙方技術團隊從結構設計、工藝技術、材料應用維度開展聯合攻關,推動碳化硅功率芯片技術達到國際先進水平。目前,已正式進入產品級測試階段。在2in1碳化硅功率模塊項目中,雙方技術團隊圍繞新結構、新工藝、新材料開展聯合攻關,實現芯片襯底與外延材料制備、芯片晶圓設計與生產、封裝結構設計、塑封工藝開發與模塊試制等關鍵環節全流程自主創新,為碳化硅功率半導體設計與生產全自主化、全國產化打下堅實基礎。
面向未來,55所將持續強化產業鏈上下游聯合攻關,推動碳化硅功率器件及模組關鍵核心技術自主創新,為新能源汽車產業高質量發展提供科技支撐。
此外,碳化硅外延片,指在碳化硅襯底上生長了一層有一定要求的、與襯底晶向相同的單晶薄膜的碳化硅片,是用于制造高性能半導體器件的關鍵材料。在今年4月24日,中國電科稱,電科材料6英寸碳化硅外延片產業化工作取得重大進展,6英寸中高壓碳化硅外延片月產能力實現大幅提升。電科材料持續布局第三代半導體外延材料研發生產,實現一系列技術突破,在碳化硅外延領域,完成6英寸3300V碳化硅外延材料研發。同時,積極與國產設備廠商合作開發生產裝備,推動碳化硅核心裝備國產化。未來,電科材料將持續創新突破,推出更多高端碳化硅材料產品,為助力國內新能源汽車、充電樁、光伏等新興產業蓬勃發展蓄勢賦能。