晶盛機電5月16日在投資者互動平臺表示,公司現采用物理氣相傳輸法進行碳化硅晶體生長,公司已掌握行業領先的8英寸碳化硅襯底技術和工藝,并建設了6-8英寸碳化硅晶體生長、切片、拋光環節的研發實驗線,通過持續加強技術創新和工藝積累,逐步實現大尺寸碳化硅晶體生長和加工技術的自主可控。