實(shí)現(xiàn)第三代半導(dǎo)體——SiC（碳化硅）芯片自主量產(chǎn)并達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平，裝載百萬(wàn)輛新能源車(chē)，助力國(guó)內(nèi)新能源汽車(chē)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展，保障國(guó)內(nèi)車(chē)企供應(yīng)鏈安全。位于江寧開(kāi)發(fā)區(qū)的國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（南京）平臺(tái)（以下簡(jiǎn)稱(chēng)南京平臺(tái)），不斷取得科技創(chuàng)新領(lǐng)域突破。前天，記者來(lái)到中心探訪。

南京平臺(tái)超凈廠房?jī)?nèi)，一臺(tái)臺(tái)精密儀器正在工作。偌大的車(chē)間里，科研人員坐在電腦前操控，許多設(shè)備已經(jīng)自動(dòng)化運(yùn)行。在一個(gè)生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)，自動(dòng)測(cè)試臺(tái)正在對(duì)一片已完工的6英寸SiC晶圓進(jìn)行測(cè)試，探針比繡花針還要細(xì)。通過(guò)顯微鏡可以看到，測(cè)試探針在芯片間高速移動(dòng)。每一片晶圓上都分布著2000多個(gè)芯片，探針會(huì)對(duì)芯片性能進(jìn)行全面評(píng)估，每一個(gè)芯片的性能數(shù)據(jù)迅速同步到數(shù)據(jù)中心以便技術(shù)人員隨時(shí)掌握產(chǎn)線生產(chǎn)狀態(tài)。一旁的顯示屏上同步顯示著檢測(cè)結(jié)果。“綠色代表合格，紅色則相反。”中心主任陳辰說(shuō)，只見(jiàn)屏幕上幾乎都是綠色。

別小看這些長(zhǎng)寬僅有2毫米左右的芯片，它可是新能源車(chē)車(chē)載充電機(jī)的“心臟”，有了它，新能源車(chē)充電效率大大提高，而且能節(jié)省電力，實(shí)現(xiàn)減碳降耗。就是這小小的芯片，穩(wěn)定了國(guó)內(nèi)車(chē)企的供貨渠道，實(shí)現(xiàn)了自主研發(fā)自主生產(chǎn)。

陳辰介紹，南京平臺(tái)主要圍繞SiC器件技術(shù)開(kāi)展研究工作，在關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域取得技術(shù)突破，建立了成熟的SiC肖特基二極管和MOSFET（金屬—氧化物—半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)管）產(chǎn)品技術(shù)并成功完成成果轉(zhuǎn)化。“經(jīng)過(guò)科研團(tuán)隊(duì)的不斷努力，我們中低壓系列產(chǎn)品形成基本達(dá)到國(guó)外量產(chǎn)化技術(shù)水平，高壓產(chǎn)品的核心指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。”他說(shuō)，SiC肖特基二極管已累計(jì)銷(xiāo)售2000余萬(wàn)只，在各類(lèi)電源應(yīng)用領(lǐng)域取得了較好的市場(chǎng)反響；SiC MOSFET產(chǎn)品累計(jì)銷(xiāo)售1000余萬(wàn)只，在電動(dòng)汽車(chē)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)銷(xiāo)售500余萬(wàn)只，累計(jì)裝車(chē)100余萬(wàn)輛。

目前，南京平臺(tái)擁有一支高水平三代半導(dǎo)體技術(shù)團(tuán)隊(duì)，人員覆蓋芯片設(shè)計(jì)、單項(xiàng)工藝、工藝整合、可靠性保障、應(yīng)用支撐等方面。團(tuán)隊(duì)內(nèi)部從機(jī)理研究到工程化產(chǎn)品技術(shù)，從單項(xiàng)關(guān)鍵工藝到生產(chǎn)技術(shù)整合組織技術(shù)人員開(kāi)展分工研究。針對(duì)器件批產(chǎn)一致性提高開(kāi)展制造工藝全流程的優(yōu)化，打通全部生產(chǎn)環(huán)節(jié)，晶圓成品率達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。

據(jù)悉，南京平臺(tái)利用五十五所現(xiàn)有SiC電力電子器件研發(fā)平臺(tái)，通過(guò)南京市、江寧開(kāi)發(fā)區(qū)投入帶動(dòng)，打造功能更先進(jìn)的6英寸SiC電力電子器件研發(fā)和中試平臺(tái)，以存量帶動(dòng)增量，既節(jié)約成本又實(shí)現(xiàn)建設(shè)周期縮短。

“南京平臺(tái)將以第三代半導(dǎo)體關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)為核心使命，產(chǎn)學(xué)研協(xié)同推動(dòng)科技成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化與產(chǎn)業(yè)化，為區(qū)域和產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供源頭技術(shù)供給，為科技型中小企業(yè)孵化、培育和發(fā)展提供創(chuàng)新服務(wù)，為支撐產(chǎn)業(yè)向中高端邁進(jìn)、實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展發(fā)揮戰(zhàn)略引領(lǐng)作用，面向未來(lái)半導(dǎo)體領(lǐng)域高水平科技自立自強(qiáng)，承擔(dān)更多更重要的角色，發(fā)揮好‘出題人’‘答卷人’‘閱卷人’作用。”陳辰說(shuō)。

【記者手記】

實(shí)地探訪國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（南京）平臺(tái)，對(duì)南京奮力實(shí)現(xiàn)高水平科技自立自強(qiáng)的拼勁有了更直觀的感受。

南京是全國(guó)科教資源最集中的城市之一，連續(xù)多年出臺(tái)政策支持創(chuàng)新發(fā)展，覆蓋經(jīng)營(yíng)主體培育、重大創(chuàng)新平臺(tái)中心建設(shè)、科技成果轉(zhuǎn)化、產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力提升、重大項(xiàng)目攻關(guān)、人才引進(jìn)和國(guó)際合作等方面，形成了良好的創(chuàng)新氛圍。南京位列全國(guó)先進(jìn)制造業(yè)百?gòu)?qiáng)市第四位，已成為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)強(qiáng)市。

國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（南京）平臺(tái)取得的成就是南京科技自立自強(qiáng)之路的一個(gè)縮影。在這座城市，以創(chuàng)新型領(lǐng)軍企業(yè)為龍頭、高新技術(shù)企業(yè)為骨干、科技型中小企業(yè)為基礎(chǔ)的創(chuàng)新型企業(yè)集群正在形成。

來(lái)源：南京日?qǐng)?bào)