近日，清楓資本正式完成對國內高端半導體光刻膠廠商徐州博康的數千萬元投資交割。徐州博康成立于2010年，專注于中高端光刻膠及相關原材料研發制造，致力于推動半導體關鍵材料國產化進程。公司生產基地位于江蘇邳州，在上海松江擁有獨立的研發中心。
據悉，目前，徐州博康已實現“單體——樹脂、光酸——光刻膠”全國產化、全產業鏈布局，擁有ArF/KrF光刻膠單體、ArF/KrF光刻膠、G線/I線光刻膠、電子束光刻膠等產品，覆蓋集成電路制造、后段封裝、化合物半導體、分立器件、電子束等市場應用，研發儲備全球80%的光刻膠單體產品技術，其中KrF光刻膠單體占全球份額超過20%。
清楓資本消息顯示，在半導體光刻膠領域，徐州博康已研發高端ArF光刻膠26款，其中應用于通孔工藝的ArF濕法光刻膠，已經能夠應用至40nm/28nm工藝節點，是國內第一款國產化的ArF濕法通孔光刻膠；已研發高端KrF光刻膠30款，其中主要針對lift-off工藝的金屬剝離負膠，底部倒角可控，是目前國內唯一可提供此類KrF的產品。
