2023年2月7-10日（7日報(bào)到），第八屆國際第三代半導(dǎo)體論壇（IFWS 2022）&第十九屆中國國際半導(dǎo)體照明論壇（SSLCHINA 2022）將于在蘇州金雞湖凱賓斯基大酒店召開。一直以來，中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司（以下簡稱“中微公司”）都是論壇重要合作伙伴，今年更是全面深度參與其中。不僅會攜最新產(chǎn)品&解決方案參展亮相，還將在論壇上分享主題報(bào)告！

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（證券簡稱：“中微公司”，證券代碼：688012）致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領(lǐng)先的加工設(shè)備和工藝技術(shù)解決方案。中微通過創(chuàng)新驅(qū)動自主研發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備已在國際主要芯片制造生產(chǎn)線上廣泛應(yīng)用于65納米到5納米及更先進(jìn)的加工工藝。中微硅通孔刻蝕設(shè)備已在MEMS制造和先進(jìn)封裝產(chǎn)業(yè)中有廣泛應(yīng)用。中微開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備已在客戶生產(chǎn)線上投入量產(chǎn)，并在全球氮化鎵基LED MOCVD設(shè)備市場占據(jù)領(lǐng)先地位。中微公司的客戶遍布中國大陸和臺灣、新加坡、韓國、日本、德國、意大利、俄羅斯等國家和地區(qū)。

據(jù)論壇組委會介紹，論壇連續(xù)多年聘請中微公司高級副總裁杜志游博士為論壇程序委員會專家，并擔(dān)任芯片制造工藝及裝備等方向?qū)＜艺偌耍麖恼搲捌诨I備、論文審稿、報(bào)告人邀請等都全面參與其中，為論壇的籌備和召開提供智力支持。

同時(shí)，中微公司還將協(xié)辦支持”氮化物襯底材料生長與外延技術(shù)分論壇“、“Mini/Micro LED及其他新型顯示技術(shù)分論壇“和“Mini/Micro-LED技術(shù)產(chǎn)業(yè)應(yīng)用論壇”，并由中微公司MOCVD工藝總監(jiān)陳耀將在帶來《用于藍(lán)綠光Mini/Micro-LED生產(chǎn)的MOCVD新型裝備》主題報(bào)告。

中微具有自主知識產(chǎn)權(quán)的Prismo UniMax®MOCVD設(shè)備可配置多達(dá)4個(gè)反應(yīng)腔,可同時(shí)加工108片4英寸或40片6英寸高性能氮化鎵基藍(lán)綠光Mini LED外延晶片，通過石墨盤的調(diào)整，可擴(kuò)展至同時(shí)加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，其工藝能力還可延展到生長8英寸外延晶片。每個(gè)反應(yīng)腔都可以獨(dú)立控制，這一創(chuàng)新設(shè)計(jì)具備優(yōu)異的生產(chǎn)靈活性。中微Prismo UniMax® MOCVD設(shè)備配置了新穎的局部溫度補(bǔ)償加熱系統(tǒng)，專為高性能Mini LED量產(chǎn)而設(shè)計(jì)，具備優(yōu)異的產(chǎn)出波長均勻性及產(chǎn)出穩(wěn)定性。此外，Prismo UniMax® MOCVD設(shè)備配置了785mm大直徑石墨托盤，極大地提高了設(shè)備產(chǎn)能，并有效地降低了Mini LED外延片的生產(chǎn)成本。

Prismo UniMax®是為高端顯示應(yīng)用所需的Mini LED大規(guī)模生產(chǎn)提供的MOCVD外延解決方案

產(chǎn)品特點(diǎn)

·自主的實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)

·精準(zhǔn)的參數(shù)控制

·自動化的控制與維護(hù)功能

·符合半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)的軟件控制系統(tǒng)

競爭優(yōu)勢

·可獨(dú)立控制的反應(yīng)腔運(yùn)行模式

·新穎的局部溫度調(diào)控加熱系統(tǒng)

·優(yōu)異的LED波長均勻性

中微具有自主知識產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備Prismo HiT3®，是適用于高質(zhì)量氮化鋁和高鋁組分材料生長的關(guān)鍵設(shè)備，反應(yīng)腔最高溫度可大達(dá)1400攝氏度，單爐可生長18片2英寸外延片，并可延伸到4英寸晶片。中微高溫MOCVD設(shè)備Prismo HiT3專為深紫外LED量產(chǎn)而設(shè)計(jì)，是目前業(yè)內(nèi)紫外LED產(chǎn)能先進(jìn)的高溫MOCVD設(shè)備。

Prismo HiT3®是用于深紫外LED外延片量產(chǎn)的MOCVD設(shè)備

產(chǎn)品特點(diǎn)

·適用于高溫氮化鋁和深紫外 LED生長的關(guān)鍵設(shè)備

·優(yōu)異均勻性和高效能相結(jié)合

·適合高晶體質(zhì)量和高AIN生長速率的新穎腔體設(shè)計(jì)

·創(chuàng)新的實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)

·工藝溫度最高可達(dá)1400度，具有優(yōu)異的溫場均勻性和控制穩(wěn)定性

·具有高穩(wěn)定性、自動化的真空傳送系統(tǒng)，抑制顆粒的產(chǎn)生

·界面友好、全自動化的操作系統(tǒng)

競爭優(yōu)勢

·優(yōu)異的工藝重復(fù)性，簡化工藝調(diào)整需求，提高產(chǎn)品良率

·單爐可生長18片2英寸外延晶片，具有較低的生產(chǎn)成本

·集成頂蓋升降機(jī)構(gòu)，簡化設(shè)備維護(hù)，提高設(shè)備利用率

·業(yè)界領(lǐng)先的UVC LED產(chǎn)能及維護(hù)周期

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新春將至，福氣滿滿！論壇組委會誠邀關(guān)注和有意與中微公司合作的業(yè)界同仁，2月7日-10日能蒞臨IFWS&SSLCHINA 2022論壇現(xiàn)場，與中微公司高管和產(chǎn)品工程師面對面交流&洽談合作。參會聯(lián)系：賈先生（Frank）電話：18310277858，郵箱：jiaxl@casmita.com。