近日,由山西省科學(xué)技術(shù)廳推薦、山西中科潞安紫外光電科技有限公司牽頭的國(guó)家“十四五”重點(diǎn)研發(fā)項(xiàng)目“大功率深紫外AlGaN基LED發(fā)光材料與器件產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)”成功獲得立項(xiàng)。據(jù)悉,該項(xiàng)目總預(yù)算達(dá)4450萬(wàn)元,其中中央財(cái)政專項(xiàng)資金1950萬(wàn)元,項(xiàng)目整體分為四個(gè)課題,參與單位還包括北京中博芯半導(dǎo)體科技有限公司、泉州三安半導(dǎo)體科技有限公司、華中科技大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所等9家科研院所、企業(yè)。該項(xiàng)目研究?jī)?nèi)容涵蓋深紫外LED先進(jìn)外延技術(shù)、芯片制造技術(shù)、封裝技術(shù)和可靠性評(píng)價(jià),力求實(shí)現(xiàn)高性能大功率深紫外LED外延芯片量產(chǎn),同時(shí)電光轉(zhuǎn)化效率、光功率、壽命等主要性能指標(biāo)突破國(guó)際瓶頸。
項(xiàng)目牽頭單位中科潞安以自主創(chuàng)新技術(shù)立身,圍繞第三代半導(dǎo)體氮化物深紫外光電材料,開(kāi)展了深紫外LED專用MOCVD設(shè)備、深紫外LED芯片制造以及應(yīng)用產(chǎn)品開(kāi)發(fā),突破了一系列產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)。在山西省科技重大專項(xiàng)等項(xiàng)目的支持下在深紫外LED領(lǐng)域積累了雄厚的研發(fā)基礎(chǔ),各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)現(xiàn)已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平,完成了研發(fā)成果產(chǎn)業(yè)化,成為國(guó)際上僅有的集核心裝備、核心材料、芯片制造、封裝應(yīng)用于一體的垂直整合型深紫外LED高新技術(shù)企業(yè)。
本項(xiàng)目的成功立項(xiàng),是對(duì)我省第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈整體研發(fā)實(shí)力的充分肯定。下一步,省科技廳將堅(jiān)持面向國(guó)家重大需求,聚焦行業(yè)關(guān)鍵共性技術(shù),集中優(yōu)勢(shì)資源,著力加強(qiáng)跨部門(mén)、跨行業(yè)、跨區(qū)域研發(fā)布局和協(xié)同創(chuàng)新,深化科技成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化,持續(xù)推進(jìn)國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目各項(xiàng)工作。
(來(lái)源:山西省科學(xué)技術(shù)廳門(mén)戶網(wǎng)站)