近日,北京賽微電子股份有限公司(以下簡稱“賽微電子”)控股子公司賽萊克斯微系統科技(北京)有限公司(簡稱“賽萊克斯北京”)代工制造的某款MEMS氣體傳感芯片通過了客戶驗證,該客戶已同步簽署試產訂單,賽萊克斯北京啟動首批MEMS氣體傳感芯片8英寸晶圓的小批量試生產。
MEMS氣體傳感芯片基于MEMS工藝制造,具備功耗低、可靠性高的特點,可用于制備各類MEMS氣體傳感器,可廣泛應用于家用環境監測、室內新風系統、智能家電產品、車內環境感知等領域。
近年來,賽萊克斯北京持續加大研發投入,自主積累基礎工藝,積極探索各類MEMS器件的生產訣竅,努力為全球通信、生物醫療、工業汽車、消費電子等各領域客戶,尤其是中國本土客戶提供優質的MEMS工藝開發及晶圓制造服務,積極推動公司在本土形成和提升自主可控的MEMS生產制造能力, 加速國產替代。
賽微電子表示,盡管通過全員努力,已在多領域實現MEMS制造技術的積累和突破,但賽萊克斯北京客觀上仍處于運營初期,產線的產能爬坡、良率提升是一個持續的過程,產能的繼續擴充以及產量目標的實現尚需一定時間。