上海福賽特機器人有限公司自主研發的MOCVD AMHS智能物流系統，已經在行業頭部客戶處投入運行生產。該系統實現MOCVD工藝設備的晶圓倒片、晶圓傳輸以及數據記錄和追溯功能，有效降低了人工成本，并通過全自動生產的方式減少了人工參與造成的產品不良，降低了石墨盤的損耗從而提高了其使用壽命。

 

　　該系統主要分為倒片區設備和MOCVD工藝設備區設備。倒片區設備主要包括晶圓倒片機，電子貨架、倒片區定制AGV和AGV充電設備；MOCVD工藝設備區設備主要包括MOCVD工藝設備、MOCVD中轉單元、工藝設備區定制AGV和AGV充電設備。除MOCVD工藝設備外的其它所有設備均由上海福賽特機器人有限公司提供。

 

　　MOCVD AMHS智能物流系統具有全自動、高節拍、高精度、高配置、智能化、可擴展等特點。

 

　　●AGV運載石墨盤根據調度系統指令自動在電子貨架、晶圓倒片機、MOCVD中轉單元之間對接；

 

　　●電子貨架存儲石墨盤且與中控系統實時通訊并監控石墨盤狀態；

 

　　●晶圓倒片機實現自動上下石墨盤、Pocket自動清潔、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動上片、自動下片、Wafer ID與盤SN綁定link后上傳至MES；

 

　　●MOCVD中轉單元與MOCVD工藝設備無縫對接，實現自動上下石墨盤，收集MOCVD腔體狀態信息并與中控系統通訊；

 

　　●該系統上下片的節拍為425pcs/小時；產品良率≧99.9%；晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.05mm，±0.1度以內。

 

　　MOCVD AMHS 智能物流系統能夠大幅提升工藝設備的運行效率，顯著提升產品良率，是LED/GaN半導體高端制造的首選。福賽特將繼續深耕半導體設備行業，在已推出的PVD晶圓倒片機，PSS晶圓上下片機，MOCVD?AMHS系統等獨家自主研發產品的基礎上，繼續加大研發力度，進一步優化交付和服務質量，成為中國領先的LED/GaN半導體AMHS設備提供商！

 

　　上海福賽特機器人有限公司是一家從事高端裝備研發和制造的高新技術企業，總部位于上海。主要業務板塊有半導體，新能源，新材料和智能交通系統。在半導體領域，福賽特擁有PVD、PSS、MOCVD等工藝制程段晶圓倒片、上下片、AMHS等多種設備，能夠大幅提升晶圓制造工廠的自動化智能化水平和產品良率。相關設備已成功應用于三安光電、華燦光電、同鑫光電等行業頭部企業。公司注冊資本1.149億元，研發人員近百人，擬于2024年在科創板上市。

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