中微公司7月4日發布投資者關系活動記錄表，公司于2022年6月30日接受191家機構單位調研，活動介紹了公司經營狀況并回答了投資者提問。
2016-2021年中微公司營業收入持續增長，從6.10億元上升至31.08億元，CAGR達38.52%，公司新產品與新客戶持續拓展，刻蝕設備銷量提升顯著且持續。公司2022年第一季度收入9.49億元，較上年同期增加約3.46億元，同比增長57.31%。
問答環節主要內容：
問：請問公司受疫情影響如何？疫情對二季度業績沒有影響？
答：在疫情初期，公司做好了相應準備：閉環生產、物流通行證、海關通關等等。公司密切關注疫情動態同時采取了防疫應急措施，認真貫徹國家和上海市政府關于疫情防控的決策部署，在政府相關部門的支持和公司的努力下，公司生產運營基本正常。
問：請問刻蝕設備的新簽訂單情況和趨勢？
答：公司的刻蝕設備在工藝覆蓋度方面不斷提升，在客戶端驗證的工藝進度良好，目前訂單情況飽滿。
問：2021年公司刻蝕設備收入20億元，同比提升55.4%，公司CCP設備已批量應用于國內外一線客戶的集成電路生產線,并持續提升市場占有率,在部分客戶市場占有率已進入前三位甚至前二位。請公司結合下游需求情況說明公司刻蝕設備的高速增長是否可持續，并說明公司將采取哪些措施進一步提升公司刻蝕設備產品的技術優勢以及市占率水平。
答：隨著國際上先進芯片制程從14納米到10納米階段向7納米、5納米及更先進工藝的方向發展，當前光刻機受光波長的限制，需要結合刻蝕和薄膜設備，采用多重模板工藝，利用刻蝕工藝實現更小的尺寸，使得刻蝕技術及相關設備的重要性進一步提升。
公司為進一步提升公司刻蝕設備產品的技術優勢以及市占率水平，采取的措施包括但不限于：
（1）公司將不斷完善研發管理機制和創新激勵機制，對在技術研發、產品創新、專利申請等方面做出突出貢獻的技術研發人員給予獎勵，激發技術研發人員的工作熱情。
（2）公司將持續加大研發投入力度，搭建更好的研發實驗環境，為技術突破和產品創新提供重要的基礎和保障。
（3）設備的研發方面，公司在持續改善現有設備的性能的同時，將根據先進邏輯芯片和高密度存儲DRAM和3DNAND芯片的不同刻蝕需求，細分產品，開發不同的硬件特征，提高產品針對不同應用的刻蝕性能，滿足不同客戶的需求。與此同時，公司會根據客戶的研發需求，定義下一代產品的技術指標和技術路線，開發能滿足客戶需求的新產品。
問：公司目前的收入里面，刻蝕產品和MOCVD產品的占比情況？
答：2021年營業收入31.08億元，其中刻蝕設備收入為20.04億元，占收入比例約為64.48%；MOCVD設備收入為5.03億元，占收入比例約為16.18%。2022年第一季度營業收入9.49億元，其中刻蝕設備收入為7.14億元，占收入比例約為75.24%；MOCVD設備收入為0.42億元，占收入比例約為4.43%。
問：如何看待ICP業務的成長空間？
答：根據機構統計數字，2021年ICP市場大概是90-100億美元左右。中微的刻蝕團隊擁有豐富的ICP設備開發經驗，尹志堯博士也是全球ICP設備技術的主要推動者之一。公司的ICP產品進入市場后，付運機臺數量增長迅速，2021年ICP設備交付134腔，同比增長235%。公司的ICP設備用了很多的差異化設計，并且有雙臺機和單臺機兩種配置可供客戶選擇，在高端配置上能滿足客戶需求。
問：公司MOCVD取得了很好的份額和定位，如何看待這塊業務未來的成長性？
答：MOCVD設備目前在照明、顯示市場應用廣泛。更重要的是Mini LED和Micro LED市場的拓展，相關市場的發展前景很大。MOCVD設備重要的應用還包括功率器件等。市場機構預測到2026年，全球每年需求超過800臺MOCVD設備。中微公司在其中三個領域有開發相關產品，公司將繼續開發照明、顯示領域，包括Mini LED，Micro LED，以及功率器件等等領域的外延設備。公司預計可以覆蓋大約75%的MOCVD設備市場。未來市場空間非常廣闊。
問：刻蝕機目前對標國際先進公司，公司的不足主要表現在哪些方面？
答：作為國內刻蝕設備龍頭企業，公司在整個半導體設備國產化進程中具有明顯優勢。公司長期保持大規模、高強度的研發投入，但對標國際半導體設備巨頭的研發布局和研發規模，公司仍有較大差距。公司將持續提升在技術研發方面的投入水平，進一步縮小與海外同行業巨頭在研發方面的差距。
問：公司目前南昌新基地的建設情況如何？建成后的產品布局情況如何？
答：在江西省南昌市高新區約14萬平方米的研發生產基地已全面封頂，計劃將于2022年內陸續投入生產。南昌產業化基地主要承擔較為成熟產品的大規模量產及部分產品的研發升級工作。
問：請問公司在薄膜設備方面的進展如何？是投資相關公司還是自己研發生產？
答：公司目前已經組建團隊在開發LPCVD設備和EPI設備，研發進展按計劃進行中，同時公司將在適當時機通過并購等外延式成長途徑擴大產品和市場覆蓋。
問：MOCVD業務在手訂單情況不錯，MOCVD毛利率提升幅度大的原因是什么？
答：新的產品型號Prismo UniMax主要針對Mini-LED設計。性能、復雜性提高很多，提供更多的價值給用戶，所以毛利率有明顯增長。
問：公司在先進制程的刻蝕裝備上大致情況如何？
答：公司積極關注下游市場擴產計劃并努力爭取各種可能的市場機會，公司的刻蝕設備在國內主要客戶端市場占有率不斷提升。在邏輯集成電路制造環節，公司開發的12英寸高端刻蝕設備已運用在國際知名客戶65納米到5納米等先進的芯片生產線上；同時，公司根據先進集成電路廠商的需求，已開發出小于5納米刻蝕設備用于若干關鍵步驟的加工，并已獲得行業領先客戶的批量訂單。公司目前正在配合客戶需求，開發新一代刻蝕設備和包括更先進大馬士革在內的刻蝕工藝，能夠涵蓋5納米以下更多刻蝕需求和更多不同關鍵應用的設備。在3D NAND芯片制造環節，公司的電容性等離子體刻蝕設備可應用于64層和128層的量產，同時公司根據存儲器廠商的需求正在開發新一代能夠涵蓋128層及以上關鍵刻蝕應用以及相對應的極高深寬比的刻蝕設備和工藝。此外，公司的電感性等離子刻蝕設備已經在多個邏輯芯片和存儲芯片廠商的生產線上量產，根據客戶的技術發展需求，正在進行下一代產品的技術研發，以滿足5納米以下的邏輯芯片、1X納米的DRAM芯片和128層以上的3D NAND芯片等產品的ICP刻蝕需求，并進行高產出的ICP刻蝕設備的研發。
問：公司產品零部件從外國進口的比例？是否有受限風險？
答：目前公司產品有部分零部件需要進口，公司采取多廠商策略保障零部件及時供應。公司一直堅持合法合規經營，并嚴格遵守各經營地的包括出口管制在內相關法律法規。
問：請問公司刻蝕產品和MOCVD產品零部件國產化率情況？
答：公司目前刻蝕設備的零部件國產化率大約60%，MOCVD設備的零部件國產化率大約80%。
問：請問公司目前持有睿勵儀器的股權比例？是否有委派董事？
答：公司目前持有睿勵儀器股權比例為29.36%。尹志堯博士擔任睿勵儀器董事長。
問：請問公司在境外的拓展情況？
答：公司產品已進入國際供應鏈，公司在全球主要市場也進行渠道建設，已擁有6個境外子公司、15個區域辦公室。
問：公司在年報披露了企業文化及治理內容，這些措施如何使企業發展受益？
答：公司在2021年總結自成立以來的發展經驗，全面梳理公司核心價值觀和企業文化，總結了四個十大，即“產品開發的十大原則”、“戰略銷售的十大準則”、“營運管理的十大章法”和“精神文化的十大作風”。公司通過總結并宣導“四個十大”，落實科學管理和營運體系，倡導先進的企業文化，不斷提升企業經營質量，提高員工的向心力和積極性，打造能孕育、保持創造力和發展力的中微大平臺。同時，公司通過文化宣導和輸出，希望和海內外合作伙伴一起努力實現技術進步和并推動產業的快速發展;
中微半導體設備(上海)股份有限公司的主營業務是半導體設備及泛半導體設備的研發、生產和銷售。公司的主要產品有電容性等離子體刻蝕設備，電感性等離子體刻蝕設備，MOCVD設備，VOC設備。
2019年在美國領先的半導體產業咨詢公司VLSI Research對全球半導體設備公司的“客戶滿意度”調查和評比中，公司綜合評分繼2018年的結果之后繼續保持全球第三，在芯片制造設備專業型供應商和專用芯片制造設備供應商評比中均名列第二，并在薄膜沉積設備評比中繼續名列第一。同時，全球晶圓制造設備商評級為五星級公司僅有五家，中微公司是其中之一。
