韓國8英寸SiC單晶爐成功國產化！

 

來源：化合物半導體市場    原作者：Jenny    2022-06-15 10:23:04

 

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半導體產業網獲悉，據韓媒報道，韓國ESTech已成功實現SiC晶錠生長設備的國產化，并計劃向韓國功率半導體材料廠商Senic供應首臺設備。現階段，雙方正在加快以SiC業務滲透市場。

 

據悉，SiC晶錠PVT生長設備對于制造SiC晶錠來說至關重要，而到目前為止，美國、日本和歐洲設備廠商占據了主導地位，而且僅價格本身就可達數百億韓元。為此，韓國本土廠商也在積極尋求關鍵技術和產品的國產化替代，打破國外廠商長期壟斷的局面。

 

在此背景下，ESTech決定自主開發SiC PVT設備，以應對強勁的功率半導體市場需求和SiC產品需求，并助力SiC設備的國產化。基于半導體晶圓設備制造經驗，ESTech聚焦韓國國產器件領域，采用精密控制技術開發SiC生長成套設備，并確保機械可靠性。

 

據介紹，ESTech開發的設備能夠生產8英寸單晶SiC晶錠，大于目前市場主流的4英寸和6英寸晶錠。該公司已于12日宣布將于今年下半年向Senic供應SiC晶錠PVT生長爐。

 

報道顯示，ESTech向全球眾多晶圓制造商供應單晶硅晶錠PVT設備，積極聯合本地和外國企業開發8英寸、12英寸單晶硅晶錠PVT生長設備，借此逐步確立了市場地位，技術能力也獲得了廣泛的認可。

 

本次SiC設備的成功國產化也得益于其在硅晶錠PVT生長爐市場所積累的技術和經驗。隨著ESTech進軍SiC市場，ESTech預計將擴大設備產品組合，多元化利潤增長渠道。

 

作為合作方，Senic正在開發SiC襯底產品以滿足功率半導體客戶及電動汽車市場客戶的需求，并表示將聯合國內企業共同為振興韓國SiC材料市場添磚加瓦。

 

Senic據稱是韓國唯一一家擁有6英寸SiC襯底生產工藝技術的企業。去年，Senic向SKC采購SiC材料技術和設備，并獲得SiC相關人力資源支持，主要生產電動汽車用的高附加值SiC襯底。本月初，Senic宣布其6英寸SiC襯底工廠開始全面投產，目標在2024年下半年市場相關產品的量產。

 

現階段，Senic決定與ESTech合作，實現單晶SiC襯底的大規模生產。通過強強聯合，ESTech也成功開發了8英寸SiC晶錠生長設備。據悉，雙方目前正在對原型產品展開測試工作。

 

韓媒表示，若Senic采用ESTech的設備開始量產SiC襯底，那么此次雙方的合作將對韓國那些合力發展下一代功率半導體的企業起到示范作用。從宏觀的角度來看，兩大實力企業的合作也符合韓國目前在發展新興產業方面的戰略。

 

近兩年來，韓國高舉SiC/GaN第三代半導體產業大旗，從政策上不斷加大“籌碼”，貫通全產業鏈，完善上下游的布局，旨在增強韓國在全球第三代半導體市場的話語權。例如，韓國今年正式成立了SiC產業聯盟，全方位發力功率半導體市場。

 

在此背景下，8英寸SiC單晶生長設備的國產化對于韓國來說的確有著重要的意義，表明韓國在第三代半導體領域又取得了一項突破性的進展。對于其他國家來說，此舉也有可能加速各國在SiC領域的國產化進程，從而在一定程度上改變原有的競爭格局。