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北大集成電路學院PEALD設備采購項目中標結果公示
日期:2022-05-17
來源:半導體產業網
閱讀:383
核心提示:據悉,北京大學集成電路學院等離子體增強原子層沉積設備采購項目中標結果公示。
據悉,北京大學集成電路學院等離子體增強原子層沉積設備采購項目中標結果公示。
消息顯示,該項目中標供應商為西安思密康電子科技有限公司,中標貨物為1套等離子體增強原子層沉積設備,貨物品牌為PicosunOy,中標金額328.98萬元。
據該項目招標公告,所采購的設備用于國家重點研發計劃項目、國家自然科學基金項目,用于研究新結構氧化物半導體器件、鐵電場效應晶體存儲器和三維集成技術等。
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