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上海新陽:1400光刻機安裝調試基本完畢

日期:2022-04-14 來源:半導體產業網閱讀:310
核心提示:近日,上海新陽在投資者互動平臺表示,公司與中芯北方搭建的1400光刻機安裝調試基本完畢。
近日,上海新陽在投資者互動平臺表示,公司與中芯北方搭建的1400光刻機安裝調試基本完畢。
 
另外,上海新陽表示,公司研發費用投入超2億元,且主要系光刻膠項目研發和參與的國家重大科技項目研發費用。其稱,公司半導體產品銷售收入不斷增長,都是公司長期以來關心關注研發和項目推進取得的回報。
 
資料顯示,上海新陽目前主要從事兩類業務:一類是集成電路制造及先進封裝用關鍵工藝材料及配套設備的研發、生產、銷售和服務,并為客戶提供整體化解決方案;另一類是環保型、功能性涂料的研發、生產及相關服務業務,并為客戶提供專業的整體涂裝業務解決方案。其主要產品是半導體晶圓制造及先進封裝用電鍍液及添加劑、半導體晶圓制造用清洗劑、半導體封裝用電子化學材料、半導體制造用高端光刻膠產品、半導體配套設備產品。
 
上海新陽迄今承擔國家02專項研發項目有:“65-45nm芯片銅互連超高純電鍍液及添加劑研發和產業化”、“20-14nm先導產品工藝開發”項目任務課題“高速自動電鍍線研發與產業”項目、“銅互連電鍍工藝技術及產品的研發”等。 
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