華懋科技旗下徐州博康近期收到某國內主流存儲芯片廠商的半導體光刻膠采購訂單，此前該產品型號全部依賴于海外進口。該產品系博康HTI560系列光刻膠，是基于對羥基苯乙烯聚合物樹脂的化學放大型光刻膠。
該產品所用原材料包括單體、樹脂及光酸100%由博康自主生產，其在客戶端的整個測試認證周期近2年，其放量采購標志著博康半導體光刻膠在國內主流12寸晶圓廠獲得了正式認可，既包括產品性能的全面達標，也包含對博康光刻膠批量供應能力的認可。
考慮到該款產品的適用性很強，博康已經開始積極拓展其他客戶，根據不同客戶產品工藝特點的不同對該款光刻膠進行微調，最終實現該類產品的商業價值最大化。目前，博康的i-line/KrF/ArF/ArF immersion等多個系列產品正在國內主流的邏輯芯片與存儲芯片廠進行評估驗證。尤其是高端的KrF高分辨率產品及ArF immersion產品，性能指標完全比肩國外大廠，已經獲得了客戶端的良好評價結果。
此外，博康還有多個ArF immersion//KrF/i-line產品積極開發中，包含immersion NTD光刻膠，KrF高深寬比厚膠等，爭取未來實現更全面的產品類別覆蓋，早日解決國內半導體光刻膠“卡脖子”問題。
