南大光電近日發表公告稱，公司募投項目“光刻膠項目”受到多重因素影響，計劃將建設完成期限由原計劃2021年12月31日延長至2022年12月31日。公司將繼續通過統籌協調全力推進，力爭早日完成該項目建設。
具體原因方面，南大光電在公告中指出，項目在實際投入過程中受到新冠疫情、客戶驗證需求變化、公司實際經營情況等多重因素的影響，尤其是項目所需的缺陷檢測等關鍵設備采購周期延長，安裝、調試工作也相應后移，導致該項目建設進度不及預期。
他們同時強調，截至2021年12月31日，項目已累計投入45,316.28萬元，全部由公司自有資金出資。寧波南大光電在2021年具體實施項目時，為滿足項目建設所需采購的付款進度需要，優先使用了自有資金投入建設。本項目剩余資金缺口，公司將繼續使用募集資金15,000.00萬元滿足其投資需求。
據悉，南大光電ArF光刻膠開發和產業化，是為配合推動國家“02 專項”光刻膠技術開發及產業化項目的開展而設立，公司募投項目“光刻膠項目”總投資額為66,000.00萬元，計劃使用募集資金15,000.00萬元。項目實施主體為公司控股子公司寧波南大光電材料股份有限公司（以下簡稱“寧波南大光電”）。主要包括兩條建設內容：
圖片來源：南大光電公告截圖
先進光刻膠及高純配套材料的開發和產業化
建設內容為建立光刻膠配套高純顯影液的規模化生產線，包括合成、純化、分析、灌裝等工藝的配套生產裝置及分析檢測設備；另外還將建設國內首個先進光刻膠分析測試中心，包含浸沒式光刻機、涂膠顯影一體機和 CD-SEM 等關鍵量測設備。項目完全達產后，將建成光刻膠研發中心、先進光刻膠的分析測試中心，以及年產 350噸的高純顯影液的生產線。
ArF光刻膠產品的開發和產業化
建立包含高等級超凈間在內的ArF光刻膠生產線，具備ArF光刻膠產品的生產能力；建立ArF光刻膠配套關鍵組分材料的生產能力，完善光刻膠原材料的供應。項目完全達產后，將建成年產5噸ArF干式光刻膠的生產線、年產20噸ArF浸沒式光刻膠的生產線以及年產45噸的光刻膠配套高純試劑的生產線。
南大光電公告同時指出，公司擴建2,000噸/年三氟化氮生產裝置項目按原計劃繼續進行，建設期不變。
此外，近日在接受投資者提問“公司193nm光刻膠項目第二條生產線是否建設完畢，是否進行投產，如還未完工預計何時完工？”時，南大廣電表示，公司目前已經建成了兩條arf光刻膠生產線，合計產能為25頓。而公司的arf光刻膠也有少量發貨。
公開資料顯示，193nm光刻膠作為當前高端芯片制造中最為核心的原材料，被譽為半導體工業的“血液”，可以用于90nm~14nm技術節點的集成電路制造工藝。
