日前，由上海果納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司研發(fā)團隊自主設(shè)計生產(chǎn)的國產(chǎn)首臺8LP雙天車系統(tǒng)的sorter（晶圓傳輸設(shè)備），取得終端客戶認證。晶圓傳輸設(shè)備在實現(xiàn)國產(chǎn)化的道路上再次獲得技術(shù)突破；作為國內(nèi)半導(dǎo)體傳輸設(shè)備制造的新銳企業(yè)，果納由剛剛被評為“2022最值得關(guān)注的女性創(chuàng)業(yè)者”之一的創(chuàng)始人葉瑩女士的布局發(fā)展下，歷經(jīng)短短1年多的快速發(fā)展中，陸續(xù)獲得國內(nèi)多家知名半導(dǎo)體設(shè)備及制造企業(yè)的認可，團隊以優(yōu)質(zhì)快速的服務(wù)響應(yīng)，滿足客戶定制化的產(chǎn)品研發(fā)理念；不斷攻克技術(shù)難題，對標國際先進水平，打破行業(yè)技術(shù)壟斷，實現(xiàn)彎道超越。這是國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)良性發(fā)展的關(guān)鍵，同時代表著芯片行業(yè)細分領(lǐng)域國產(chǎn)自動化設(shè)備取得長足進展。

 

該項目負責人介紹——由果納自主研發(fā)的GN208型8 Loadport SORTER 在西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司認證通過，今天正式生產(chǎn)。該機臺設(shè)備是用于12寸大硅片廠出貨前的分選工序，其配備了8套晶圓承載系統(tǒng)，分設(shè)備兩側(cè)對稱安裝，可實現(xiàn)兩側(cè)同時對接天車。GN208設(shè)備結(jié)構(gòu)布局緊湊，占地面積小，分選效率高，有效提高了客戶廠房廠務(wù)的利用率。

 

同時，果納GN208 SORTER機臺在設(shè)計上采用了恒壓微環(huán)境的設(shè)計概念，使設(shè)備內(nèi)部的晶圓傳送區(qū)域始終保持較高潔凈度等級。通過設(shè)計上的保障，嚴格的組裝工藝，以及現(xiàn)場專業(yè)的服務(wù)團隊，該設(shè)備僅用了1個月的時間通過了50nm和28nm的particle、edge metal連續(xù)測試。

 

另外，果納GN208 SORTER 機臺配置了更友好的人機界面系統(tǒng)，更便于操作和監(jiān)控晶圓的分選路徑，輕松實現(xiàn)單倉排序，跨倉調(diào)配。同時，設(shè)備可識別兼容多種晶圓料盒，并搭載高精度晶圓ID讀碼器，使分選工作更高效可靠。設(shè)備采用了完全國內(nèi)自主開發(fā)的SECS/GEM半導(dǎo)體標準傳輸協(xié)議，現(xiàn)已順利通過客戶的EAP測試。