日前獲悉，中微全資子公司南昌中微半導體設備有限公司（以下簡稱“南昌中微”）接到來自江西兆馳半導體有限公司52腔Prismo Unimax®MOCVD設備采購訂單，目前，雙方已經進行了簽約儀式。

 

據介紹，Prismo UniMax®是中微公司Prismo系列MOCVD設備的最新產品，于2021年6月發布，加工容量可以延伸至生長164片4英寸或72片6英寸晶片，主要用于氮化鎵（GaN）基Mini LED外延片量產。Mini LED可被廣泛應用于電視、筆記本電腦、平板電腦、桌面顯示器、車載顯示屏、戶外顯示屏等終端產品。 

據中微公司董事長兼總經理尹志堯介紹，目前，中微公司Prismo UniMax®MOCVD設備訂單已超180腔，是繼去年12月Prismo UniMax®MOCVD設備訂單超100腔以來公司取得的又一次重要突破。
 

△Source：中微公司

 

資料顯示，中微公司是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設備公司，開發的離子體刻蝕設備和化學薄膜設備是制造各種微觀器件的關鍵設備。

 

其中等離子體刻蝕設備已被廣泛應用于國際一線客戶從65納米到5納米及更先進工藝的眾多刻蝕應用，同時，其開發的用于LED和功率器件外延片生產的MOCVD設備已在客戶生產線上投入量產，目前已在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場占據領先地位。