AIXTRON SE 于近日宣布， Wolfspeed 將在其生產設施中采用 AIXTRON 公司的 200 毫米行星式反應器（Planetary Reactor）技術，用于制造基于碳化硅 (SiC) 的 MOSFET 和肖特基二極管功率器件。
半導體行業沉積設備領先制造商AIXTRON SE 總裁兼首席執行官 Felix Grawert 博士表示：“碳化硅是下一代電源管理關鍵技術之一。它使我們能夠在半導體行業的發展中譜寫激動人心的新篇章，并為支持可持續未來的節能技術做出重要貢獻。Wolfspeed 處于 200 毫米碳化硅制造的最前沿，我們很自豪能與 Wolfspeed 合作，幫助將這一最新創新推向市場。”
新的行星式反應器將以 6 x 200 毫米的配置交付，這是迄今為止市場上（單個設備）碳化硅外延最大容量。與現有行星式反應器相比，每批次的總外延面積將顯著增加。該設備將高度自動化，能夠在不干擾生產周期的情況下快速更換零件。這些設備還將采用溫度控制技術，以獲得最佳的晶圓性能，以滿足碳化硅晶圓外延層的前沿質量要求。
Wolfspeed 首席執行官 Gregg Lowe 表示：“對于碳化硅解決方案的需求持續加速增長，這主要是由汽車、工業和能源應用所推動，因為它們正在從硅技術轉向碳化硅技術。Wolfspeed 繼續進行投資，以提高產能并利用碳化硅的優勢，幫助向市場提供更大的供應。我們感謝與 AIXTRON 的長期、出色的合作關系。他們是我們的重要合作伙伴，助力我們全球首個 200 毫米碳化硅制造工廠產能爬坡。”
Wolfspeed 是碳化硅技術的全球引領者，目前正在推進其位于美國紐約州馬西莫霍克谷的自動化 200 毫米碳化硅晶圓廠的建成與產能爬坡。由于碳化硅獨特的物理性能，碳化硅能夠實現高功率密度和高能源效率，并將推動下一代半導體技術的發展。
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https://compoundsemiconductor.net/article/114407/Wolfspeed_to_Purchase_AIXTRON_Epitaxial_Tools_to_Ramp_200_mm_Production
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