更高質(zhì)量和更大直徑的 GaN 襯底對(duì)于氮化物（GaN）功率器件的實(shí)際應(yīng)用至關(guān)重要。近日，豐田合成官網(wǎng)宣布，他們與大阪大學(xué)合作，成功制造出應(yīng)用于功率半導(dǎo)體的6英寸GaN襯底。 

 

資料顯示，豐田合成參與了日本環(huán)境省牽頭的項(xiàng)目，并與大阪大學(xué)合作利用Na-flux方法生產(chǎn)6英寸的高質(zhì)量GaN 襯底。NaFlux法是將氮?dú)鈬姷解}和鈉的混合溶液中，令氮溶解制成GaN結(jié)晶。

 

豐田合成表示，6英寸功率半導(dǎo)體氮化鎵襯底的研發(fā)得益于早期LED氮化鎵襯底技術(shù)的積累。

根據(jù)文獻(xiàn)，豐田合成為了開(kāi)發(fā)6英寸氮化鎵單晶，采用了鈉助溶劑和MVPE兩種方法。鈉助溶劑法是為了生長(zhǎng)高質(zhì)量籽晶，而MVPE是為了生長(zhǎng)氮化鎵單晶。

 

豐田合成先使用鈉助溶劑法在藍(lán)寶石襯底上生長(zhǎng)了多籽晶襯底（MPS）。據(jù)介紹，他們已制造出直徑8 英寸的MPS襯底，正在開(kāi)發(fā)10英寸級(jí)大直徑MPS襯底。

 

據(jù)介紹，2021年10月，他們已經(jīng)成立了一家風(fēng)險(xiǎn)投資公司“teamGaN”，使用這項(xiàng)GaN襯底制造技術(shù)，為功率器件開(kāi)發(fā)提供 GaN 襯底。