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碳化硅技術再突破 爍科晶體、晶盛機電、露笑科技迎新進展

日期:2022-03-04 來源:全球半導體觀察閱讀:364
核心提示:碳化硅(SiC)晶體是一種性能優異的寬禁帶半導體材料,在集成電路各細分領域有著廣泛應用。其晶體生長極其困難,核心技術和市場基本被歐美發達國家如WolfSpeed、德國SiCrystal 等公司壟斷。
碳化硅(SiC)晶體是一種性能優異的寬禁帶半導體材料,在集成電路各細分領域有著廣泛應用。其晶體生長極其困難,核心技術和市場基本被歐美發達國家如WolfSpeed、德國SiCrystal 等公司壟斷。
 
近日,山西爍科晶體有限公司(以下簡稱“爍科晶體”)宣布,成功研制出8英寸碳化硅晶體、晶片。除了爍科晶體外,晶盛機電、露笑科技、吉星公司、山東天岳先進近日也在國產碳化硅晶體上更進一步。
 
爍科晶體8英寸N型碳化硅拋光片小批量生產
 
爍科晶體官方宣布已于2022年1月實現8英寸N型碳化硅拋光片小批量生產,向8英寸國產N型碳化硅拋光片的批量化生產邁出關鍵一步。去年8月,爍科晶體已研制出8英寸碳化硅晶體,解決大尺寸單晶制備的重要難題。
 
爍科晶體官網顯示,公司成立于2018年,是國內從事第三代半導體材料碳化硅生產和研發的領軍企業。公司通過自主創新和自主研發全面掌握了碳化硅生長裝備制造、高純碳化硅粉料制備工藝,N型碳化硅單晶襯底和高純半絕緣碳化硅單晶襯底的制備工藝,形成了碳化硅粉料制備、單晶生長、晶片加工等整套生產線,并在國內率先完成4、6、8英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底技術攻關。
 
晶盛機電6英寸碳化硅晶片已獲得客戶驗證
 
晶盛機電近期在投資者關系活動記錄表中披露,公司已組建一條從原料合成-晶體生長-切磨拋加工的中試產線,6英寸碳化硅晶片已獲得客戶驗證,且在今年2月,已有客戶與公司形成采購意向。
 
近日,晶盛機電攜碳化硅襯底晶片生產項目落戶寧夏。據介紹,該項目總投資50億元,該項目分兩期建設,將建設約7.5萬平方米廠房及輔助設施,主要生產6英寸及以上導電型和半絕緣型碳化硅襯底晶片。一期預計3月開工建設,投資總額33.6億元,一期建成達產后預計年產6英寸碳化硅晶片40萬片,年營業收入24億元。
 
吉星公司成功批量生長出6英寸碳化硅晶體
 
2021年年末,吉星公司官方披露,已成功批量化生長出6英寸碳化硅晶體。據悉,該公司已具備完整的藍寶石襯底加工生產線、超前的大尺寸襯底、鏡面研發和產業化能力。
 
露笑科技碳化硅項目進入正式投產階段
 
2021年末,露笑科技公布了公司碳化硅項目的進展公告。據悉,合肥露笑半導體一期已完成主要設備的安裝調試,進入正式投產階段。
 
資料顯示,該項目總投資100億元,主要建設國際領先的第三代功率半導體(碳化硅)的設備制造、長晶生產、襯底加工、外延制作等產業鏈的研發和生產基地。項目將分三期建設,其中第一期預計投資21億元,建成達產后,可形成年產24萬片導電型碳化硅襯底片和5萬片外延片的生產能力。
 
今年2月25日,露笑科技子公司合肥露笑半導體與東莞天域半導體簽訂《戰略合作協議》,協議約定在滿足產業化生產技術要求的同等條件下,公司2022 年、2023 年、2024 年需為東莞天域預留6英寸導電型碳化硅襯底片產能不少于15 萬片。公開消息顯示,天域是國內最早實現6英寸外延晶片量產的企業,且該公司已布局國內8英寸SiC外延晶片工藝線的建設,目前正積極突破研發8英寸SiC工藝關鍵技術。
 
山東天岳先進6英寸碳化硅襯底項目預計在2023年形成量產

2021年7月,下旬,山東天岳先進科技股份有限公司(以下簡稱“天岳先進”)披露,了6英寸半絕緣型襯底的生產計劃將根據下游行業和客戶對6英寸產品的需求情況制定,預計在2023年形成量產。
 
今年,1月12日,山東天岳先進在上交所科創板上市。據悉,天岳先進擬將募集的25億資金,全部投向碳化硅半導體材料項目,該項目主要用于生產6英寸導電型碳化硅襯底材料,預計在2026年100%達產,將新增碳化硅襯底材料產能約30萬片/年。
 
結語
 
縱觀國內外,目前國際上已實現 6 英寸晶片規模化供應,部分領先企業已成功研制并投資建設8英寸晶片產線。我國企業在國家政策的強力支持下,近年來發展大幅增速,逐步趕超 6 英寸和8英寸晶片生產。未來國內企業有望突破壁壘、追趕與發展。 
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