3月2日，據媒體消息，三星電子正在研發取代碳化硅(SiC)聚焦環(Focus Ring)的新材料。

 

　　業界消息指出，硬度表現優秀的碳化硼(B4C)成為三星有力備選方案。

 

　　三星為將B4C打造成新一代聚焦環材料，正在進行相關研發。聚焦環在半導體產業中，主要用于硅片蝕刻工藝，除了能固定硅片之外，也有維持電漿體密度、防止硅片遭污染等功用。