2月11日晚間，針對日前“ASML稱東方晶源侵犯其知識產權的報道”，國內專注于集成電路良率管理的企業東方晶源微電子科技(北京)有限公司(簡稱“東方晶源”)通過官方微信公眾號發布聲明稱，“關注到近期在網絡媒體上出現大量與我司有關、且與事實不符的報道。對于相關不實信息，我司將保留追究其法律責任的權利。”
東方晶源表示：“東方晶源是一家專注于集成電路領域良率管理的企業，已成功自主研發出計算光刻軟件(OPC)納米級電子束檢測裝備(EBI) 和關鍵尺寸量測裝備(CD-SEM)三款核心產品，獲得了行業和客戶的高度認可。公司自成立以來一直遵守中國法律法規、合法合規經營。秉承獨立研發、自主創新的理念，東方晶源尊重、保護知識產權，并形成了獨立、完備的知識產權體系。”
對于相關不實信息，我司將保留追究其法律責任的權利。
未來，東方晶源將繼續與產業鏈上下游伙伴精誠合作，專注中國半導體核心技術的研發與突破，助力中國半導體產業全面發展。
東方晶源微電子科技（北京）有限公司成立于2014年，總部位于北京亦莊經濟技術開發區，是一家專注于集成電路良率管理的企業。公司自成立以來堅持以創新引領發展，申報國內外發明專利146項，授權發明專利49項，軟件著作權14項，注冊商標15項。獲得“國家高新技術企業”、“中關村高新技術企業”、“北京市專利試點企業”、“博士后工作站”、被評定為國家級專精特新“小巨人”企業等榮譽。作為高新技術企業，人才是根本。東方晶源研發人員占比近70%，8%擁有博士學位，53%擁有碩士學位。其中，北京市海聚2人，亦麒麟人才3人。核心成員擁有美國硅谷、日本和歐洲等世界一流半導體科技公司的產品研發和管理經驗。
