期間，由北京一徑科技有限公司、廣東芯聚能半導體有限公司、廣東晶科電子股份有限公司、上海瞻芯電子科技有限公司協辦支持的“車用半導體創新合作峰會“如期舉行。

 

傳感器是一種檢測裝置，能感受到被測量的信息，并能將感受到的信息轉換為電信號或其他所需形式的信息輸出。MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器，具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點。其使傳感器應用領域發生了顛覆性變化。進入21世紀以來，MEMS技術以超高速創新發展。比如慣性MEMS，光MEMS，生物醫療MEMS，射頻MEMS、壓力傳感器、氣體傳感器、麥克風等。

會上，華東光電集成器件研究所總工程師展明浩做了題為“MEMS傳感器發展現狀及在自動駕駛中應用”的線上主題報告，結合MEMS傳感器的發展，分享了MEMS傳感器在自動駕駛中的應用以及華東光電集成器件研究所MEMS傳感器產業情況。

隨著智能汽車的發展，MEMS傳感器在自動駕駛中的應用也在發展。2022年，超過50%的新車將實現車聯網/智能網聯，2022年中國智能網聯市場預計將達到1350億元。未來自動駕駛將融合自主式和網聯化兩種方式，兩種技術互為補充實現自動駕駛。

感知是智能自動駕駛的前提，外界環境的高靈敏度感知技術是智能網聯汽車基礎關鍵技術之一，它是通過安裝在智能網聯汽車及其周邊的傳感器及網絡，對道路、車輛、行人、交通標志、交通信號燈等復雜環境進行的實時、高效探測和識別技術，關系到自動駕駛的自主決策和協同控制。

 

自動駕駛中的MEMS應用廣泛，如今的自動駕駛汽車全身布滿了傳感器：傳感器可以映射出周圍環境的特性、探測道路邊緣和車道標線、識別標志和紅綠燈，結合攝像頭、雷達和激光來識別行人；陀螺儀、加速計和高度計比單獨使用全球定位系統（GPS）衛星提供了更精確的定位。基于MEMS傳感器體積小、集成度高等優勢，在自動駕駛領域應用越來越廣泛。

報告指出，微機電系統涉及物理學、半導體、光學、電子工程、化學、材料工程、機械工程、醫學、信息工程及生物工程等多學科。隨著新技術、新工藝的出現，以MEMS技術為代表的半導體行業，將加速進入快車道發展階段。MEMS技術將使傳感器應用領域發生顛覆性變化和更多場景的應用。微機械技術在自動駕駛等未來領域發揮著越來越重要的作用，促進自動駕駛早日走向人類生活。

在5G、自動駕駛、新型智慧城市等國家發展戰略促進下，將進一步促進MEMS上下游產業鏈的繁榮與發展。國內MEMS廠家正逐步走向世界舞臺，在性能、市場空間等方面優勢愈發明顯。

 

目前，華東光電集成器件研究所具有一條6英寸MEMS體硅SOI工藝平臺，形成了體硅SOI工藝技術體系包含了硅硅直接鍵合、高深寬比SOI結構刻蝕釋放、高深寬比TSV刻蝕與填充、晶圓級真空封裝、熱應力隔離結構等關鍵工藝技術。體硅SOI工藝可實現高精度微機械慣性器件工藝加工，滿足高精度、高深寬比、低應力的工藝加工要求。形成了紅外溫度傳感器、氣體傳感器、流量傳感器、壓力傳感器，陀螺和加速度傳感器系列化產品。

 

展明浩，現任華東光電集成器件研究所總工程師，研究員。國家地方MEMS工程實驗室主任，安徽省MEMS工程實驗室主任、省MEMS工程中心副主任，合肥工業大學研究生導師，“安徽省“115”產業創新團隊-MEMS產業創新團隊帶頭人。現從事半導體集成電路、微機械電子（MEMS）慣性傳感器、圖像傳感器、微波固態功率器件等研究和產業化。

 

 

（內容根據現場資料整理，如有出入敬請諒解）