近日,由第三代半導體產業技術創新戰略聯盟(CASA)、國家半導體照明工程研發及產業聯盟(CSA)聯合主辦,北京麥肯橋新材料生產力促進中心有限公司與半導體產業網共同承辦的第七屆國際第三代半導體論壇暨第十八屆中國國際半導體照明論壇(IFWS & SSLCHINA 2021)在深圳會展中心舉行。
期間, “IFWS 2021:碳化硅功率器件與封裝應用論壇“成功召開。會議由蕪湖啟迪半導體有限公司、中國電子科技集團公司第四十八研究所、北京北方華創微電子裝備有限公司、德國愛思強股份有限公司協辦支持。


▲美國俄亥俄州立大學教授、IEEE會士Anant AGARWAL 在線視頻報告
會上,美國俄亥俄州立大學教授、IEEE會士Anant AGARWAL通過在線云視頻分享了“碳化硅芯片會在 2025-2030 年被電動汽車廣泛采用的可能性探討”主題報告。他介紹,早在2015 年,美國能源部就資助的 PowerAmerica 計劃在德克薩斯州拉伯克的 XFAB 開始了美國 SiC 代工廠模式的出現。通過這項工作,證明了在具有硅器件標準(最小尺寸為 0.35 微米)的其他過時硅代工廠中可以在技術上和經濟上制造碳化硅器件。此后,這已發展成為全球工程模型,從而使過時的硅代工廠免于關閉,并將其使用壽命延長 10-15 年。
據了解,大約需要價值 1500 萬美元的設備才能將 Si CMOS 代工廠線轉換為具有制造 600 V 至約 15 kV 功率 MOSFET 和肖特基二極管能力的 SiC 生產線。今天,在全球范圍內,各種硅晶圓廠都在將 150 毫米線轉換為 SiC 線,許多傳統功率器件公司要么轉換自己的 Si 產線,要么使用其他代工服務。使用已經建立的硅生產線的主要優勢是經濟、節省資本投資以及降低制造過程的成本。當大批量 Si 和小批量 SiC 晶片可以共享同一條生產線時,除了加工設備中的少數例外情況時,尤其如此。
他表示,SiC 已成功應用于電源和光伏轉換器行業,并迅速進入電動汽車市場。碳化硅更高的結溫(硅 IGBT 中為 125°C,而碳化硅 MOSFET 中為 175°C)可用于增加功率密度以及減少車輛熱管理系統。與類似的 Si 系統相比,更高的電流能力可以為上坡駕駛、加速或轉子鎖定條件產生更高的電機扭矩。這些都是引人注目的優勢,將推動電動汽車采用 SiC 器件,在未來十年內開辟大約 160億美元的機會。
該市場將成為提高 SiC 制造量從而降低成本的關鍵。目前,碳化硅器件的成本主要是碳化硅襯底和外延,主要是因為在這些領域的專業知識有限,只有極少數組織。隨著新參與者被高需求和潛在商業案例吸引進入市場,這些成本將大幅下降。未來5年,隨著 200 mm SiC 的出現,SiC 成本將接近每安培 Si 成本的30%。這假設與相同尺寸的 Si 晶片相比,每個 SiC 晶片的襯底和外延價格有非常溫和的降低,以及越來越高的總電流能力。
如果 SiC 技術中能把 柵極氧化物中的缺陷密度, 閾值電壓偏移,閾值電壓變化,表面流動性差, 短路耐受時間差和體二極管的可靠性等緊迫問題得到緊急解決,上述所有預測都可以實現。
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