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日媒:東京電子瞄準1納米半導體設備加強外部合作
日期:2021-11-04
來源:日經中文網
閱讀:259
核心提示:東京電子將加強與外部組織合作,將參加IMEC主導的聯盟,與荷蘭阿斯麥(ASML)等涉足半導體設備的大型企業推進新的制程開發。
在半導體新技術開發的難度提高的背景下,東京電子將加強與外部組織合作,將參加IMEC主導的聯盟,與荷蘭阿斯麥(ASML)等涉足半導體設備的大型企業推進新的制程開發。東京電子將在2022年內向IMEC提供在半導體晶圓上進行感光劑(光刻膠)涂布和顯影的新型“涂布顯影設備(Coater Developer)”。東京電子的執行董事秋山啟一表示,“不僅是制程改良,在成本方面對新一代EUV的期待也很高”。據稱力爭通過開發新一代光刻系統,在2025-2026年之前實現1納米線寬級別半導體的量產化。
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