近日,金宏氣體成功試產集成電路用電子級正硅酸乙酯(TEOS)。
據了解,電子特氣是集成電路、平面顯示器件等電子工業生產中不可缺少的基礎和支撐性材料,被廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝,電子特氣的發展對我國半導體芯片產業的發展起著至關重要的作用。
電子級TEOS是集成電路中制備外延材料時需要用到的微電子高端化學品,也是第三代半導體材料和新興半導體產業中重要的前驅體材料,生產過程中對控制金屬離子雜質含量等環節要求極高。
目前,電子級正硅酸乙酯(TEOS)的生產技術此前為國外企業掌握,中國大陸市場上的TEOS幾乎全部依賴進口。
金宏氣體表示,這一突破標志著公司在解決行業“卡脖子”難題上又邁出了堅實一步,并將在不久后開展TEOS面向市場的大規模生產,為國內集成電路電子材料以國產替代進口,實現自主可控等方面做出新的貢獻。
資料顯示,金宏氣體成立于1999年,專業從事氣體的研發、生產、銷售和服務一體化解決方案的環保集約型氣體綜合供應商,能夠為電子半導體、醫療健康、節能環保、新材料、新能源、高端裝備制造等行業客戶提供特種氣體、大宗氣體和天然氣三大類百余種氣體產品。