日前，日本住友化學(xué)在其官網(wǎng)宣布決定擴大其用于先進半導(dǎo)體工藝的光刻膠生產(chǎn)能力。

 

圖片來源：住友化學(xué)官網(wǎng)截圖

 

新聞稿指出，住友化學(xué)將在大阪工廠（日本大阪河野谷）擴建浸入式ArF和EUV光刻膠生產(chǎn)線，同時，還計劃在其全資子公司韓國東宇精細化學(xué)株式會社益山廠建立一座新的ArF浸沒光刻用光刻膠生產(chǎn)工廠。

 

住友化學(xué)表示，大阪工廠計劃于2023財年上半年開始投產(chǎn)，東宇精細化學(xué)益山工廠計劃于2024財年上半年開始投產(chǎn)。

 

由于大阪工廠的產(chǎn)能擴建和此次新建工廠，住友化學(xué)的ArF光刻膠產(chǎn)能到2024年度將提高至2019年度的2.5倍。