近日，北京經開區企業北京科翰龍裝備技術股份有限公司（以下簡稱“科翰龍”）自主研發的晶圓打碼機WM-SC800R通過驗收。

 

北京亦莊消息稱，這是國內首臺通過FAB廠（通常指半導體工廠）驗收的具有自主知識產權的晶圓(Wafer)ID打碼設備。晶圓(Wafer)ID打碼設備實現從“零”的突破，并突破了“卡脖子”環節，在自主可控道路上邁出關鍵一步。

 

圖片來源：北京亦莊

 

據了解，晶圓(Wafer)ID打碼設備新產品通過驗收是一個十分漫長的過程。兩年前，晶圓打碼機WM-SC800R就在FAB廠的8英寸集成電路晶圓生產線上進行晶圓(Wafer)ID軟打碼測試及試生產。檢測結果優良，該晶圓打碼機所加工的晶圓(Wafer)ID碼完全達到了SEMI（半導體設備與材料的國際性組織）標準的要求，達到了用戶關于軟打碼顆粒數的要求，完全達到了ISO 1級環境下的要求。

 

經過兩年的測驗，今年8月，晶圓打碼機WM-SC800R正式通過驗收。

 

北京亦莊消息顯示，科翰龍副總經理王向陽表示，為了打破國外公司在相關領域的長期壟斷，科翰龍利用自己的技術優勢研發了晶圓(Wafer)ID打碼設備。WM-SC800R在激光器的選用、光路的設計、晶圓定位的方法、設備結構設計以及設備的整體控制及軟件編程上都是自主設計開發的，具有完全的自主知識產權。

 

王向陽強調，無論是在知識產權還是設備主要部件方面，WM-SC800R都做到了自主可控，不易被國外卡脖子。