日前，合肥經濟技術開發區管理委員會網站發布關于對合肥至匯半導體應用技術有限公司半導體濕法設備制造項目（一期）環境影響評價文件擬作出審批意見的公示。

 

△Source：合肥經開區網站截圖

 

據披露，合肥至匯半導體應用技術有限公司將在合肥經濟技術開發區建設半導體濕法設備制造項目（一期），項目總投資1.8億元，投產后可年產30臺年產批次式半導體濕法清洗設備和10臺單片式半導體濕法清洗設備。

 

天眼查顯示，合肥至匯半導體應用技術有限公司成立于2019年，注冊資本1000萬元，是上海至純潔凈系統科技股份有限公司的全資子公司，經營范圍包括半導體設備、機械設備、自動化設備、計算機及輔助設備、配電開關控制設備制造、銷售、維修、調試及技術服務；工業自動化科技、計算機科技、半導體科技領域內的技術研發、技術咨詢、技術轉讓、技術服務等。
 

據悉，該項目最早可追溯至2019年。

 

2019年5月，至純科技發布公告稱，為順應我國半導體產業的發展，擬募集資金總額不超過3.56億元，扣除發行費用后將用于半導體濕法設備制造項目和晶圓再生基地項目，而負責半導體濕法設備制造項目的實施主體正式合肥至匯。

 

△Source：至純科技公告截圖

 

公告顯示，半導體濕法設備制造項目建設周期為2年，建成后，主要開展批次式半導體濕法清洗設備和單片式半導體濕法清洗設備的生產制造。