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晶盛機電:成功生長出 6 英寸碳化硅晶體

日期:2021-07-05 來源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)閱讀:296
核心提示:晶盛機電(300316.SZ)7 月 5 日在投資者互動平臺回答提問時表示,公司近年布局的第三代半導(dǎo)體材料碳化硅的研發(fā)取得關(guān)鍵進展,成
晶盛機電(300316.SZ)7 月 5 日在投資者互動平臺回答提問時表示,公司近年布局的第三代半導(dǎo)體材料碳化硅的研發(fā)取得關(guān)鍵進展,成功生長出 6 英寸碳化硅晶體,碳化硅外延設(shè)備已通過客戶驗證。同時在碳化硅晶體生長、切片、拋光環(huán)節(jié)規(guī)劃建立測試線,以實現(xiàn)裝備和工藝技術(shù)的領(lǐng)先,目前測試線進展順利,設(shè)備分批進廠安裝調(diào)試中。
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