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露笑科技:9月可實(shí)現(xiàn)6英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底片小批量試生產(chǎn)

日期:2021-06-30 來源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)閱讀:293
核心提示:近日,露笑科技在投資者關(guān)系活動中表示,合肥工廠9月份可實(shí)現(xiàn)6英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底片的小批量試生產(chǎn)。有投資者提問:目前公司在
近日,露笑科技在投資者關(guān)系活動中表示,合肥工廠9月份可實(shí)現(xiàn)6英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底片的小批量試生產(chǎn)。
 
有投資者提問:目前公司在合肥投資的碳化硅工廠進(jìn)度如何?如何理解公司碳化硅襯底片目前已經(jīng)送樣檢測通過這個技術(shù)環(huán)節(jié)?
 
露笑科技表示,公司已全面掌握6英寸導(dǎo)電型碳化硅晶體生長工藝參數(shù)之間的各種耦合關(guān)系,確定了各工藝參數(shù)的優(yōu)值,中試線生長成品率達(dá)到40%,具備了可重復(fù)、可批量生長碳化硅晶體的設(shè)備以及技術(shù)條件。其中露笑科技提供100%國產(chǎn)化的晶體生長設(shè)備,目前已根據(jù)工藝的改進(jìn),對長晶爐進(jìn)行了三代優(yōu)化,完成了設(shè)備定型。這次合肥項(xiàng)目一期100臺設(shè)備已經(jīng)完成出廠調(diào)試,預(yù)計(jì)7月底在合肥工廠完成安裝調(diào)試。襯底片已通過多 家第三方單位的測試,已達(dá)到了P級標(biāo)準(zhǔn)。隨著襯底加工設(shè)備、清洗設(shè)備、測試設(shè)備等的逐步到位,以及加工工藝的進(jìn)一步優(yōu)化,合肥工廠9月份可實(shí)現(xiàn)6英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底片的小批量試生產(chǎn)。
 
同時說明一點(diǎn),車規(guī)級導(dǎo)電型碳化硅襯底片開發(fā)目前是世界級難題,是真正卡脖子的技術(shù),需要全行業(yè)的人沉下心來、深耕細(xì)作。如何提高產(chǎn)率,如何穩(wěn)定質(zhì)量,如何規(guī)模化產(chǎn)業(yè)化,怎樣進(jìn)一步降低成本,價(jià)格如何降低到整個行業(yè)可以普及等等一系列問題,行業(yè)上還有很長的路要走。露笑科技正在為此努力,力爭年底前形成規(guī)模化量產(chǎn)能力。
 
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