日前，晶盛機電在投資者互動平臺上回復表示，公司12英寸單晶硅生長爐及部分加工設備已實現批量銷售。

 

圖片來源：深交所互動易截圖

 

有投資者在互動平臺上問及，晶盛機電在半導體晶體生長方面的行業地位和競爭優勢以及目前研發和新技術項目儲備等相關情況，晶盛機電回應表示，公司積極布局“長晶、切片、拋光、外延”四大核心環節設備的研發，在半導體材料用關鍵設備領域實現國產化突破。

 

晶盛機電進一步表示，公司通過承擔國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”項目的“300mm硅單晶直拉生長裝備的開發”和“8英寸區熔硅單晶爐國產設備研制”兩項課題，實現集成電路8-12英寸半導體長晶爐的量產突破。

 

據晶盛機電披露，目前公司基本實現8英寸晶片端長晶到加工的全覆蓋，且已實現量產和批量出貨；12英寸單晶硅生長爐、滾磨設備、截斷設備、研磨設備、邊緣拋光設備已通過客戶驗證，并取得良好反響，12英寸單晶硅生長爐及部分加工設備已實現批量銷售，其他加工設備也陸續客戶驗證中。