近日，南大光電在業績說明會上表示，公司ArF光刻膠產品開發和產業化項目，目前已完成25噸光刻膠生產線建設，主要先進光刻設備，如ASML浸沒式光刻機等已經完成安裝并投入使用。

 

南大光電稱，用于質量檢測的光刻機等量測設備是國外進口的，公司已經配備了，運轉良好，沒有被卡的顧慮。主要原材料是自己開發和生產的，沒有被卡風險。生產設備是聯合國內企業研制的，也不存在被卡風險。

 

2020年底，南大光電自主研發的ArF光刻膠產品成功通過下游客戶的使用認證，成為通過產品驗證的第一只國產ArF光刻膠，各項光學性能均達到商用膠的水平，可實現先進光刻膠的國產替代，產業化取得關鍵突破，拿到國產光刻膠的首個訂單，實現小批量銷售。

 

據介紹，目前公司光刻膠產品正在繼續發往多個下游客戶進行驗證工作，驗證進展順利。測試中的ArF光刻膠可以用于邏輯芯片和存儲芯片。從目前測試結果看，ArF光刻膠性能上和日本產品達到同等水平，并實現了ArF光刻膠國產化和本土化，打破了 被國外長期壟斷的被動局面。

 

南大光電表示，公司研發并產業化的ArF光刻膠是國內最先進的光刻膠。 光刻膠項目今年的主要任務是完成主要客戶認證，明年啟動量產，力爭盡早實現盈利。

 

在硅前驅體項目方面，南大光電仍在研發階段。目前實驗室建設已經基本完成，研發工作正按計劃推進中，其中無氯TSA、3CDS兩個產品研發取得重大突破，產業化已進入準備階段。

 

在MO源行業方面，受LED行業的驅動，未來LED行業的發展機會也創造了MO源的增長空間；同時MO源在第三代半導體和新一代太陽能電池領域的應用也為行業帶來了新的發展機遇。

 

南大光電稱，公司2021年第一季度的扣非凈利潤增長245%，主要是因為三大半導體材料的布局基本完成，前驅體和電子特氣業務發展迅速，MO源業務回升，光刻膠業務客戶認證順利推進。公司主營業務的增長趨勢良好，可持續。