3月31日上午，據臺灣媒體報道，臺積電新竹總部 12 B廠意外在上午 9 時出現火警事件，而引發火警，公司立即緊急疏散員工。
火警發生原因疑似是上午由外包商正在進行P6廠變電設備保養時，突然因超載發熱起火，消防設備隨即啟動進行二氧化碳滅火，過程中造成1名施工人員不慎遭二氧化碳嗆傷，但意外并未造成其他人員傷亡。
新竹市消防局在上午9點50分對外表示，接獲通報稱竹科有雜草燃燒，消防人員抵達現場后發現是臺積電12廠外圍的變電站內火警，立刻轉知責任單位新竹縣消防局。新竹縣消防局抵達現場后未見火勢，只見冒著濃濃白煙，初步了解是配電盤短路后起火，協助排煙后狀況很快解除。
隨后，臺積電對外回應稱，“臺積公司晶圓12B廠今日（31日）上午，廠內變電站因元件異常而啟動二氧化碳滅火系統，導致一名下包商員工吸入過量二氧化碳，救護車于第一時間送往醫院并通知家屬，目前人員意識清醒，現留院觀察。”
顯然此次事故并未對臺積電的晶圓生產造成影響，只是虛驚一場。
