據濟寧高新區管委會消息:2020年10月9日,目前山大氮化鎵單晶襯底項目辦公大樓及東側部分廠房主體已完工,正進行內部專修,年底前可完成。新購置晶體生長爐、大型多線切割機、自動倒角機等先進設備266臺,可年產4英寸、6英寸氮化鎵襯底5萬片,每片2萬元,有望改變目前GaN襯底材料超過85%的市場份額掌握在祝友、三菱等國外企業手中的格局。
據了解,山大氮化鎵單晶襯底項目由山東加睿晶欣新材料股份有限公司與山東大學進行產學研合作,將氮化鎵單晶襯底實驗室成果實現產業化的重點項目。項目總投資15億元,總建筑面積10.1萬平米,建設涵蓋生產車間、研發中心、檢測等全系列產業鏈的標準化園區。一期購置晶體生長爐、大型多線切割機、自動倒角機等先進設備266臺(套),形成長晶、切割、拋光、激光剝離等全鏈條生產線,年生產2英寸氮化鎵單晶襯底10萬片,預計每年實現銷售收入12億元,利稅3.7億元,項目建成后將徹底打破國外壟斷格局,成為國內首家氮化鎵襯底晶片批量供應商。