9月29日，蘇州晶瑞化學股份有限公司（股票簡稱：晶瑞股份，股票代碼：300655）對外發布公告稱，公司為開展集成電路制造用高端光刻膠研發項目，擬通過Singtest Technology PTE. LTD.進口韓國 SK Hynix 的 ASML光刻機設備，總價款為1102.5萬美元。公司董事會審議通過了《關于購買設備的議案》，同意授權公司法定代表人或法定代表人指定的授權代理人全權辦理相關合同的簽署及設備采購事宜。
據披露，SK海力士(SK Hynix)是韓國一家生產動態隨機存取存儲器芯片和閃存芯片的半導體供應商。海力士是全球第二大內存芯片制造商，僅次于三星電子之后。作為全球領先的半導體廠商，SK海力士在韓國利川與青州、中國無錫與重慶設有 四個生產基地，并在全球建立了四個研發中心與十個銷售機構。
晶瑞股份表示，本次合同的順利履行可以保障集成電路制造用高端光刻膠研發項目關鍵設 備的技術先進性和設備如期到位并投產，對加快項目進度有積極影響。本次交易有利于進一步提升公司光刻膠產品的核心競爭力，有助于落實公司發展戰略，提高公司抗風險能力和可持續發展能力。
超凈高純試劑實現國產化
據覽富財經網了解，晶瑞股份是一家微電子材料的平臺型高新技術企業，圍繞泛半導體材料和新能源材料兩個方向，主導產品包括超凈高純試劑、光刻膠、功能性材料、鋰電池材料和基礎化工材料等。
其中，超凈高純試劑是控制顆粒和雜質含量的電子工業用化學試劑，在半導體行業被廣泛應用于清洗和蝕刻工段的關鍵性材料，該類產品對于金屬雜質含量的控制有著極其嚴苛的要求.
目前半導體用的主要高純化學試劑品種有高純硫酸、高純過氧化氫、高純氨水、高純鹽酸等。超凈高純試劑主要用于半導體、平板顯示、LED、光伏太陽能電池等電子信息產品的清洗、蝕刻等工藝環節。
晶瑞股份在半導體材料方面布局的高純雙氧水、高純氨水及在建的高純硫酸等產品品質已達到或者可達到SEMI最高等級G5 水準，金屬雜質含量均低于10ppt，高純硫酸產品預計2020年實現投產后，半導體用量最大的三個高純濕化學品將整體達到國際先進水平，可基本解決高純化學品這一大類芯片制造材料的本地化供應.
公司目前已投產主導產品獲得半導體頭部公司、華虹宏力、長江存儲等國內知名半導體客戶的采購。另外，公司其他多種超凈高純試劑如BOE、硝酸、鹽酸、氫氟酸等產品品質全面達到G3、G4等級，可滿足平板顯示、LED、光伏太陽能等行業的客戶需求。
整體來看，晶瑞股份自2001年開始高端雙氧水的研發和生產，自主開發了先進的提純技術，并獲得了發明專利。超大規模集成電路用超凈高純雙氧水技術突破了國外技術壟斷，產品品質可達到10ppt以下，滿足SEMI制定的最高純度等級，成功填補了國內空白。
光刻膠產品有30年生產經驗
據了解，光刻膠是芯片工藝制造中的關鍵材料，其技術水平決定了半導體產品的技術規格和能力，技術原理是利用光化學反應經光刻工藝將所需要的微細圖形從掩模版轉移到待加工基片上的圖形轉移介質，由成膜劑、光敏劑、溶劑和添加劑等主要化學品成分和其他助劑組成。
在光刻工藝中，光刻膠被均勻涂布在硅片、玻璃和金屬等不同的襯底上，經曝光、顯影和蝕刻等工序將掩膜版上的圖形轉移到薄膜上，形成與掩膜版完全對應的幾何圖形。光刻膠按顯示的效果，可分為正性光刻膠和負性光刻膠。
晶瑞股份的光刻膠產品由公司的子公司蘇州瑞紅生產，蘇州瑞紅作為國內光刻膠領域的先驅，規模生產光刻膠近30年，產品主要應用于半導體及平板顯示領域，產品技術水平和銷售額處于國內領先地位。
蘇州瑞紅1993年開始光刻膠生產，承擔并完成了國家02專項“i線光刻膠產品開發及產業化”項目，i線光刻膠已向國內頭部的知名大尺寸半導體廠商供貨，KrF(248nm深紫外)光刻膠完成中試，產品分辨率達到了0.25~ 0.13μm的技術要求，建成了中試示范線。
目前，公司紫外負型光刻膠和寬譜正膠及部分g線等高端產品已規模供應市場數十年，i線光刻膠近年已供應國內頭部芯片公司，高端KrF(248)光刻膠處于中試階段。同時，公司擁有達到國際先進水平的光刻膠生產線，實行符合現代電子化學品要求的凈化管理，擁有國家02專項資助的一流光刻膠研發和評價實驗室。
以人才技術謀求創新發展
令人關注的是晶瑞股份還擁有完善的研發體系、激勵機制和實力較強的研發隊伍，公司研發團隊通過多年的研發積累，取得了一大批擁有自主知識產權并產業化的科研成果;先后主持了國家、省、市科技項目二十余項，參與起草了多項國家和行業標準。
在長期發展的過程中，公司重視技術人員的培養，多次派技術人員到德國、日本參觀交流、培訓學習，同時與國內多所知名高校、海內外研究所等單位開展技術合作。目前，公司已經具備為下游客戶開發新產品的實力，具備以領先的工藝技術有效解決客戶對產品功能性需求的實力。
另外，公司建有國內領先國際一流的分析檢測實驗室，配置有各類先進的分析檢測儀器，目前實驗室已通過中國合格評定國家認可委員會的審核，并取得了CNAS認證證書，為國內同行業中首家獲得此認證的企業。
