1、保持最佳的流體溫度控制。

 

　　沉積室內的溫度穩定性是提高半導體生產效率的關鍵環節。通常由功能強大的冷水機組調節溫度，這些冷水機組利用通過一根或多根軟管泵入和泵出的冷卻液，如果隔熱不當，則冷卻液軟管可能會成為影響穩定性的隱患之一。

 

　　從冷水機組到加工環境的輸送過程中，流體溫度自然會升高。如果軟管未配備合適的隔熱材料，則如果冷水機組無法補償冷卻液管路中的溫度上升，則沉積室內的溫度可能無法達到最佳水平。

 

　　雖然一般工業應用可能僅使用水作為冷卻液，但半導體應用通常使用乙二醇之類的冷卻液，其溫度可能會低至 -40C。這是一種能源密集型工藝，憑借比標準工業軟管更有效地保持冷卻液溫度，隔熱解決方案可以更好地控制在超低溫度下輸送流體的管路的溫度。半導體制造商最為關注如何盡可能高效地保持適當的溫度，從而既可以確保芯片制造過程中的高質量產出，又可以最大程度地降低能源成本。

 

 

　　在炎熱的天氣下，隔熱不充分的軟管可能會像一杯冰水一樣起作用；如果軟管的表面溫度低于環境露點，則會在軟管外部形成冷凝水。如果兩根冷軟管的鋪設距離過近，則也可能產生冷凝水，從而導致相互接觸的表面比隔熱的表面溫度更低。

 

　　像在許多工業應用中一樣，冷凝對于半導體制造商來說可能是一個問題。當軟管穿過底層地板等密閉區域時，未被發現的冷凝水滴落會危害相鄰的敏感設備（例如電子設備），從而造成損壞并可能導致工藝停機。在非密閉、人流密集的區域，帶有冷凝液滴的管道或軟管還可能造成滑倒危險。

 

　　此外，可能需要調查在任何工業應用附近發現的小水坑的成因，否則可能會導致不必要的停機時間和資源分配。選擇具有合適隔熱性能的軟管有助于防止冷凝及類似問題。

 

　　3、如何選擇合適的隔熱軟管？

 

　　在選擇用于冷水機組應用的絕緣軟管時，選擇一種專為低溫而設計的材料是非常重要的。盡管一些可用于冷熱流體輸送應用的某些隔熱選購件可能已上市銷售，但事實是，不同類型的隔熱材料的性能會因其應用工藝而有所不同。例如，已證實具有柔性聚烯烴熱縮外層的軟管在低溫應用中的性能要優于帶有織物覆蓋層的隔熱軟管，而后者更適合于高溫流體應用。如果軟管供應商了解哪種材料最適合您的應用以及原因，然后僅選擇經過優化可在您的最終使用環境中正常工作的隔熱軟管，那么您就可以選擇與其合作。

 

　　同樣重要的是，無論使用哪種隔熱材料，軟管都應保持足夠的柔性，以優化鋪設和安裝。例如，軟管的最小彎曲半徑不應隨選擇不同隔熱材料而變化，彎曲性能也不應損害其絕緣性能。尋求可以合適的能夠維持所輸送流體的目標溫度、操作靈活而又不太笨重的選項，例如hose featuring low thermal-conductivity aerogel <https://www.swagelok.com/zh-CN/product/hoses-and-flexible-tubing/hose-insulation> 隔熱材料。

 

　　最后，世偉洛克發現，真正能夠為應用提升效率的隔熱軟管就是要用為達到隔熱要求的隔熱材料軟管。一家合格的軟管供應商應能夠提供不同材料分層而非適合所有應用的選購件，從而經濟高效地滿足您應用的溫度要求。在最理想的情況下，他們將要求您提供應用的參數，然后利用一個公式確定適合您的特定軟管需求的隔熱層確切厚度。

 

 

　　希望降低成本的半導體制造商應著眼于處于其工藝核心地位的昂貴制造設備以外的器件，以便在整個工廠制造中尋找不太明顯但具有較高成本效益的改進機會。評估用于低溫流體輸送應用的軟管套件并選擇合適的軟管隔熱選購件是非常值得的事。