三、材料
半導體材料發展歷程


Si:主要應用于集成電路的晶圓片和功率器件;
GaAs:主要應用于大功率發光電子器件和射頻器件;
GaN:主要應用于光電器件和微波通信器件;
SiC:主要應用于功率器件。

▲各代代表性材料主要應用

▲第二、三代半導體材料技術成熟度
細分領域已經實現彎道超車,核心領域仍未實現突破,半導體材料主要分為晶圓制造材料和封裝材料兩大塊。晶圓制造材料中,硅片機硅基材料最高占比31%,其次依次為光掩模版14%、光刻膠5%及其光刻膠配套試劑7%。封裝材料中,封裝基板占比最高,為40%,其次依次為引線框架16%,陶瓷基板11%,鍵合線15%。
日美德在全球半導體材料供應上占主導地位。各細分領域主要玩家有:硅片——Shin-Etsu、Sumco,光刻膠——TOK、Shipley,電子氣體——Air Liquid、Praxair,CMP——DOW、3M,引線架構——住友金屬,鍵合線——田中貴金屬、封裝基板——松下電工,塑封料——住友電木。




(1)靶材、封裝基板、CMP 等,我國技術已經比肩國際先進水平的、實現大批量供貨、可以立刻實現國產化。已經實現國產化的半導體材料典例——靶材。
(2)硅片、電子氣體、掩模板等,技術比肩國際、但仍未大批量供貨的產品。
(3)光刻膠,技術仍未實現突破,仍需要較長時間實現國產替代。