向曉波說，MEMS半導體傳感器已成為“卡脖子”器件，嚴重制約著我國工業裝備安全自主可控發展。

 

　　根據國家創新驅動發展戰略整體部署，結合其多年對MEMS半導體傳感器生產研發的實踐探索，向曉波對發展我國MEMS產業提出如下建議：

 

　　第一，做好產業發展的頂層設計。MEMS傳感器產業發展非常需要國家的宏觀規劃和指導，建議加強頂層設計，將MEMS傳感器產業作為一個單獨的產業加以研究，出臺有戰略規劃、有實現路徑、有推進實施機構、有聯動機制的行動方案和發展路線圖，規劃優先發展的重點方向，部署前瞻性研究，形成政府導向、市場驅動的長效工作機制。

 

　　第二，設立跨國及國家級研發項目。組織遴選一批符合實現路徑的重點項目，設立重大專項，從國家、行業、地方層面給予持續的資金和政策支持，對MEMS傳感器的自主設計、工藝、制造等方面加大扶持投入。通過產學研合作以及國際合作，提高我國MEMS技術研發與自主創新能力。

 

　　第三，為產業發展提供資金扶持，將MEMS列入“政策性”補助產業，出臺相關財稅補助優惠政策，使從事MEMS研發制造的企業可向相關機構申請MEMS產業發展補助。同時，出臺相關支持政策，支持國內企業開展MEMS傳感器領域的國際合作，包括技術引進、公司購并、智力引進等。在國家重點建設項目中，以政府采購、首臺套應用、產業鏈合作創新等政策，大力鼓勵、支持集成應用廠商購買使用國產MEMS傳感器及系統產品。借鑒集成電路產業投資基金的相關經驗，引導各界社會資本，設立MEMS傳感器產業投資基金，鼓勵參與MEMS傳感器產業創新。

 

　　考慮到MEMS對產業鏈上下游的協同制造能力要求較高，向曉波還建議，推動產業鏈協同創新，建立研發與終端消費產品一體化的協同發展體系，形成以技術開拓市場、市場促進技術能力提升的循環發展模式，建立公共服務信息平臺，建立產學研用聯合培養模式。