一個極具“高新”特色的沈陽企業精彩亮相，一聲沈陽IC產業艦隊加速行進的號角已經吹響。12月16日，沈陽芯源微電子設備股份有限公司（簡稱芯源微）在上海證券交易所科創板成功首發上市，成為上交所第66家通過證監會注冊并上市的科創板企業，是遼寧省科創板“第一股”，更被贊譽為中科院科創板“第一股”、中國半導體光刻設備上市“第一股”。其成功上市，成為我國光刻設備板塊進軍資本市場的標志性事件。

 

　　半導體被稱為制造業皇冠，是支撐經濟社會發展和保障國家安全的戰略性、基礎性和先導性產業，半導體裝備則被稱為這頂皇冠上的明珠，是核心中的核心、基礎中的基礎。芯源微所處的正是半導體裝備產業鏈上游核心環節，因為在行業發展中占據如此重要地位，芯源微開盤當日即取得了不俗的成績：發行價格為26.97元，收盤價格已達64.5元，當日漲幅達139.15%。

　　科創板的設立，是我國促進科技與資本深度融合、引領經濟發展向創新驅動轉型的重大舉措。芯源微在省市沈陽高新區三級部門長期推動下的成功上市，帶足了具有硬核科技創新創業、核心科技上市的“高新”特色。

 

　　硬科技是指高精尖原創關鍵核心技術，芯源微的“硬”性體現在三個方面：一是技術含量高、真金白銀，需要長期研發投入、持續積累形成；二是價值高，面向先進制造業和國家需求，對提升國家綜合競爭力、推動經濟發展具有較強支撐引領作用；三是硬骨頭，硬科技的成果應用沒有水分和泡沫，短期內難以結合巨大的終端市場迅速擴充市場規模，所以研發、應用過程尤其需要使命感、需要定力、需要堅韌不拔、攻堅克難。

 

　　聚焦同一領域，十七年磨一劍。“作為國家集成電路重大科技專項（02專項）支持的唯一一家國產涂膠顯影設備企業，成為該科技專項實施以來培育起來的第一家以光刻設備研發和產業化為目標的上市公司，芯源微上市標志著我國集成電路裝備中光刻設備已經進入資本市場加速發展，為不久的將來實現光刻機這一核心戰略產品的國產化及成套供應提前做好了準備。國家02專項副總師朱煜說。”通過多年的技術研發、實踐應用積累以及持續承擔國家02重大專項，芯源微自主開發了涂膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕機、單片清洗機等產品。芯源微專注國產半導體裝備研發制造，甘于寂寞、敢于啃硬骨頭，已累計銷售近700臺套，堪稱細分市場的“隱形冠軍”。

 

　　“芯源微是中科院在科創板上市的第一家院所投資企業，是創新鏈、產業鏈、資本鏈‘三鏈聯動’的成功范例。”中國科學院副院長張濤說。芯源微由中科院沈陽自動化所于2002年發起創立，主營產品是集成電路生產過程中必須的幾類設備，目前是國內唯一的中高端涂膠顯影設備提供商；連續牽頭承擔國家科技重大專項，擁有專利350多項，主持制定2項行業標準。芯源微產品目前已銷往海內外近百家客戶，獲評中國半導體設備行業十強，是國家首批“專精特新”小巨人企業。

 

　　“市場上最新款的每一部蘋果手機、華為手機，都在用我們芯源微的設備封裝出來的芯片，包括前置攝像頭、指紋識別器件等。”芯源微董事長、總經理宗潤福說，“芯源微最新推出的拳頭產品，命名為奉天1號，設備單臺售價2000多萬，覆蓋100億元的市場規模，我們就是要讓全行業全世界都知道，沈陽不但能生產出傳統的重型設備，也能生產出全世界最先進的高大上的設備。”

 

　　12月16日，IC產業的相關專家表示，芯源微成為東北實施創新驅動發展戰略和加快新舊動能轉換的例證。在打造IC裝備領域世界級企業的發展進程中，芯源微聯合沈陽高新區優勢企業（沈陽科儀公司、拓荊公司、新松公司、富創精密、自動化所、博微公司等）共同爭取國家02重大專項，實現產業配套，協同發展，形成了半導體裝備產業的集聚效應，促進地方經濟快速發展；作為整機研發生產企業，芯源微產品的快速產業化，促進了新松的凈化機械手、富創精密加工、博微軟件等企業發展，因而成為東北地區IC裝備的先鋒。

 

　　“芯源微電子公司的成功上市為企業的加速發展提供了動力，沈陽高新區良好的IC裝備產業生態環境和眾多優質企業也吸引了投資機構的目光，沈陽科儀、富創精密、拓荊科技、中科博微等一批創新發展企業已與多家投資公司合作，即將陸續邁入科創板行列。”沈陽高新區黨工委委員張書煒說。

 

　　打破國際壟斷，實現進口替代，推進經濟轉型，形成國際先進、國內領先水平的產業集群。芯源微電子等“隱形冠軍”正在伴隨沈陽高新區的創新驅動，成為遼寧省依靠科技進步、引領轉型升級實現高質量發展的一面旗幟。